> 제품 > 반도체 부품 > 엔드 이펙터 > 세라믹 엔드 이펙터
세라믹 엔드 이펙터

세라믹 엔드 이펙터

Semicorex는 반도체 처리 장비에서 더 높은 처리량과 더 나은 수율을 지원하는 고급 흑연 부품 및 어셈블리를 위한 파트너입니다. 당사의 재료 전문가는 귀하의 웨이퍼 처리, 가열 및 처리 요구 사항에 맞는 최적의 올바른 솔루션을 개발하기 위해 귀하와 협력할 준비가 되어 있습니다. 우리의 세라믹 엔드 이펙터는 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

문의 보내기

제품 설명

세라믹 엔드 이펙터는 웨이퍼 처리 장비와 캐리어 사이에서 반도체 웨이퍼를 이동시키는 로봇의 손입니다. 엔드 이펙터는 장치를 손상시키거나 미립자 오염을 일으키지 않고 웨이퍼를 안전하게 취급할 수 있도록 매끄럽고 내마모성 표면이 있는 동시에 치수가 정확하고 열적으로 안정적이어야 합니다. 당사의 고순도 실리콘 카바이드 세라믹 엔드 이펙터는 우수한 내열성, 일관된 에피층 두께 및 저항을 위한 균일한 열 균일성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다.

Semicorex는 고품질의 비용 효율적인 세라믹 엔드 이펙터를 제공하는 데 중점을 두고 있으며 고객 만족을 우선시하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고품질 제품과 뛰어난 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.


세라믹 엔드 이펙터의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


고순도 세라믹 엔드 이펙터의 특징

â 고순도 SiC 코팅 흑연

â 우수한 내열성 및 열 균일성

â 매끄러운 표면을 위해 코팅된 미세 SiC 크리스탈

â 화학 세척에 대한 높은 내구성

크랙 및 박리가 발생하지 않도록 재질을 설계하였습니다.




핫 태그: 세라믹 엔드 이펙터, 중국, 제조업체, 공급업체, 공장, 맞춤형, 대량, 고급, 내구성

관련 카테고리

문의 보내기

문의사항은 아래 양식으로 부담없이 보내주세요. 24시간 이내에 회신해 드리겠습니다.