세라믹 엔드 이펙터

Semicorex는 반도체 처리 장비의 더 높은 처리량과 더 나은 수율을 지원하는 고급 흑연 구성 요소 및 어셈블리의 파트너입니다. 당사의 재료 전문가는 귀하와 협력하여 귀하의 웨이퍼 처리, 가열 및 처리 요구 사항에 맞는 최적의 솔루션을 개발할 준비가 되어 있습니다. 당사의 세라믹 엔드 이펙터는 가격 경쟁력이 뛰어나며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

Ceramic End Effector는 웨이퍼 처리 장비와 캐리어의 위치 사이에서 반도체 웨이퍼를 이동시키는 로봇의 손입니다. 엔드 이펙터는 장치를 손상시키거나 미립자 오염을 발생시키지 않고 웨이퍼를 안전하게 처리할 수 있도록 치수가 정확하고 열적으로 안정적이어야 하며, 부드럽고 내마모성 표면을 가져야 합니다. 당사의 고순도 탄화규소 세라믹 엔드 이펙터는 우수한 내열성, 균일한 에피층 두께 및 저항성을 위한 균일한 열 균일성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다.

Semicorex에서는 고품질의 비용 효율적인 세라믹 엔드 이펙터 제공에 중점을 두고 고객 만족을 최우선으로 하며 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 우리는 고품질 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

세라믹 엔드 이펙터의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300