세라믹 엔드 이펙터

Semicorex는 반도체 처리 장비에서 더 높은 처리량과 더 나은 수율을 지원하는 고급 흑연 부품 및 어셈블리를 위한 파트너입니다. 당사의 재료 전문가는 귀하의 웨이퍼 처리, 가열 및 처리 요구 사항에 맞는 최적의 올바른 솔루션을 개발하기 위해 귀하와 협력할 준비가 되어 있습니다. 우리의 세라믹 엔드 이펙터는 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

세라믹 엔드 이펙터는 웨이퍼 처리 장비와 캐리어 사이에서 반도체 웨이퍼를 이동시키는 로봇의 손입니다. 엔드 이펙터는 장치를 손상시키거나 미립자 오염을 일으키지 않고 웨이퍼를 안전하게 취급할 수 있도록 매끄럽고 내마모성 표면이 있는 동시에 치수가 정확하고 열적으로 안정적이어야 합니다. 당사의 고순도 실리콘 카바이드 세라믹 엔드 이펙터는 우수한 내열성, 일관된 에피층 두께 및 저항을 위한 균일한 열 균일성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다.

Semicorex는 고품질의 비용 효율적인 세라믹 엔드 이펙터를 제공하는 데 중점을 두고 있으며 고객 만족을 우선시하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고품질 제품과 뛰어난 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

세라믹 엔드 이펙터의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β 단계
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	J·kg-1·K-1	640
승화 온도	℃	2700
쇠약한 힘	MPa(RT 4점)	415
영률	GPA (4pt 굽힘, 1300â)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열 전도성	(W/mK)	300