웨이퍼 프로세스 히터

Semicorex는 중국 내 실리콘 카바이드 코팅 흑연 서셉터의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 탄화규소층, 에피택시 반도체 등 반도체 산업에 주력하고 있습니다. 당사의 웨이퍼 프로세스 히터는 가격 경쟁력이 뛰어나며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex Wafer Process Heater는 SiC(Silicon Carbide Coating) 흑연으로 제작되며, 특정 등급의 고밀도 흑연에 CVD 공법으로 코팅을 적용하여 불활성 분위기에서 3000°C 이상의 고온로에서 작동이 가능하며, 진공에서 2200°C.
웨이퍼 프로세스 히터 소재의 특별한 특성과 낮은 질량으로 인해 빠른 가열 속도, 균일한 온도 분포 및 탁월한 제어 정밀도가 가능합니다. 다른 소재에 비해 탄화규소는 열팽창이 낮아 급격한 온도 변화에도 표면이 평평하게 유지됩니다. 핫 플레이트는 반도체 처리 시스템의 까다로운 공정에 매우 적합합니다.
Semicorex에서는 고객에게 고품질의 비용 효율적인 제품을 제공하는 데 중점을 두고 있습니다. 당사의 웨이퍼 프로세스 히터는 가격 우위를 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장에 수출됩니다. 우리는 일관된 품질의 제품과 뛰어난 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되는 것을 목표로 합니다.

웨이퍼 프로세스 히터의 매개변수

기술 사양	VET-M3
부피밀도(g/cm3)	≥1.85
회분 함량(PPM)	≤500
해안 경도	≥45
비저항(μ.Ω.m)	≤12
굴곡강도(Mpa)	≥40
압축강도(Mpa)	≥70
최대. 입자 크기(μm)	≤43
열팽창 계수 Mm/°C	≤4.4*10-6

웨이퍼 프로세스 히터의 특징

- 서비스 수명을 향상시키는 CVD SiC 코팅.
- 고온 저항, 내식성, 긴 서비스 수명으로 웨이퍼 품질과 수율을 향상시킬 수 있습니다.
- 열팽창 계수가 매우 낮고 내열성이 높으며 내마모성이 높고 절연성이 우수하며 화학적 안정성이 우수하고 보라색(빨간색)에 가까운 가시광 투과율을 갖습니다.

흑연도가니, 흑연금형 및 흑연히터의 모든 부품에 대한 항산화 및 장수명을 제공할 수 있습니다.