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SiC 코팅 웨이퍼 히터
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SiC 코팅 웨이퍼 히터

Semicorex는 반도체 제조의 실리콘 카바이드 코팅 흑연, 실리콘 카바이드 세라믹, MOCVP 영역에 중점을 둔 탄화규소 코팅 흑연, 정밀 가공된 고순도 흑연의 선도적인 독립 소유 제조업체입니다. 우리의 SiC 코팅 웨이퍼 히터는 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex SiC Coated Wafer Heater는 불활성 분위기에서 3000°C 이상, 진공에서 2200°C 이상의 고온 용광로에서 작동할 수 있습니다. 고순도 SiC Coated Wafer Heater는 우수한 내열성, 균일한 에피층 두께와 저항성을 위한 균일한 열 균일성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다. 미세한 SiC 결정 코팅은 깨끗한 웨이퍼가 전체 영역의 많은 지점에서 서셉터와 접촉하기 때문에 취급에 중요한 깨끗하고 매끄러운 표면을 제공합니다.
Semicorex는 고품질의 비용 효율적인 SiC Coated Wafer Heater를 제공하는 데 중점을 두며 고객 만족을 우선시하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고품질 제품과 뛰어난 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.


SiC 코팅 웨이퍼 히터의 매개변수

기술 사양

VET-M3

부피 밀도(g/cm3)

≤1.85

회분 함량(PPM)

≤500

쇼어 경도

≤45

비저항(μ.Ω.m)

¤12

굽힘 강도(Mpa)

≤40

압축 강도(Mpa)

≤70

최대 입자 크기(μm)

43

열팽창 계수 Mm/°C

≥4.4*10-6


SiC 코팅 웨이퍼 히터의 특징

- 고순도 SiC 코팅 흑연
- 우수한 내열성 및 열 균일성
- 매끄러운 표면을 위해 미세 SiC 결정이 코팅됨
- 화학적 세척에 대한 높은 내구성
- 크랙 및 박리가 발생하지 않도록 재질을 설계하였습니다.




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