SiC 코팅 웨이퍼 히터

Semicorex는 반도체 제조의 실리콘 카바이드 코팅 흑연, 실리콘 카바이드 세라믹, MOCVP 분야에 초점을 맞춘 실리콘 카바이드 코팅 흑연, 정밀 가공 고순도 흑연의 독립적 소유 선두 제조업체입니다. 당사의 SiC 코팅 웨이퍼 히터는 가격 경쟁력이 뛰어나며 유럽과 미국 시장의 대부분을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

Semicorex SiC 코팅 웨이퍼 히터는 불활성 분위기에서 3000°C 이상, 진공에서 2200°C 이상의 고온로에서 작동할 수 있습니다. 고순도 SiC 코팅 웨이퍼 히터는 우수한 내열성, 균일한 에피층 두께 및 저항성을 위한 균일한 열 균일성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다. 정밀한 SiC 크리스탈 코팅은 깨끗하고 매끄러운 표면을 제공하며, 깨끗한 웨이퍼는 전체 영역의 여러 지점에서 서셉터와 접촉하므로 취급에 매우 중요합니다.
Semicorex에서는 고품질의 비용 효율적인 SiC 코팅 웨이퍼 히터 제공에 중점을 두고 고객 만족을 최우선으로 하며 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 우리는 고품질 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

SiC 코팅 웨이퍼 히터의 매개변수

기술 사양	VET-M3
부피밀도(g/cm3)	≥1.85
회분 함량(PPM)	≤500
해안 경도	≥45
비저항(μ.Ω.m)	≤12
굴곡강도(Mpa)	≥40
압축강도(Mpa)	≥70
최대. 입자 크기(μm)	≤43
열팽창 계수 Mm/°C	≤4.4*10-6