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실리콘 카바이드 챔버 뚜껑
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실리콘 카바이드 챔버 뚜껑

결정 성장 및 웨이퍼 처리 공정에 사용되는 실리콘 카바이드 챔버 뚜껑은 고온 및 가혹한 화학 세척을 견뎌야 합니다. Semicorex는 중국의 실리콘 카바이드 코팅 흑연 서셉터의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 우리의 제품은 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

단결정 성장이나 MOCVD 또는 웨이퍼 처리 공정에 사용되는 탄화규소 챔버 뚜껑은 고온과 가혹한 화학적 세척을 견뎌야 합니다. Semicorex는 고순도 실리콘 카바이드(SiC) 코팅 흑연 구조를 공급하여 우수한 내열성, 균일한 열 균일성으로 일관된 에피층 두께 및 저항성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다. 휘발성 전구체 가스, 플라즈마 및 고온의 조합을 경험할 수 있는 내구성이 있습니다.
실리콘 카바이드 챔버 뚜껑은 최고의 층류 가스 흐름 패턴을 달성하도록 설계되어 열 프로필의 균일성을 보장합니다. 이는 오염이나 불순물 확산을 방지하여 웨이퍼 칩에서 고품질 에피택셜 성장을 보장합니다.
Silicon Carbide Chamber Lid에 대해 자세히 알아보려면 지금 저희에게 연락하십시오.


실리콘 카바이드 챔버 뚜껑의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


실리콘 카바이드 챔버 뚜껑의 특징

â 울트라 플랫 기능

â 거울 광택

â 뛰어난 경량

높은 강성

â 낮은 열팽창

â 극도의 내마모성




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