실리콘 카바이드 챔버 뚜껑

결정 성장 및 웨이퍼 처리 공정에 사용되는 실리콘 카바이드 챔버 뚜껑은 고온 및 가혹한 화학 세척을 견뎌야 합니다. Semicorex는 중국의 실리콘 카바이드 코팅 흑연 서셉터의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 우리의 제품은 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

문의 보내기

제품 설명

단결정 성장이나 MOCVD 또는 웨이퍼 처리 공정에 사용되는 탄화규소 챔버 뚜껑은 고온과 가혹한 화학적 세척을 견뎌야 합니다. Semicorex는 고순도 실리콘 카바이드(SiC) 코팅 흑연 구조를 공급하여 우수한 내열성, 균일한 열 균일성으로 일관된 에피층 두께 및 저항성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다. 휘발성 전구체 가스, 플라즈마 및 고온의 조합을 경험할 수 있는 내구성이 있습니다.
실리콘 카바이드 챔버 뚜껑은 최고의 층류 가스 흐름 패턴을 달성하도록 설계되어 열 프로필의 균일성을 보장합니다. 이는 오염이나 불순물 확산을 방지하여 웨이퍼 칩에서 고품질 에피택셜 성장을 보장합니다.
Silicon Carbide Chamber Lid에 대해 자세히 알아보려면 지금 저희에게 연락하십시오.

실리콘 카바이드 챔버 뚜껑의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β 단계
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	J·kg-1·K-1	640
승화 온도	℃	2700
쇠약한 힘	MPa(RT 4점)	415
영률	GPA (4pt 굽힘, 1300â)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열 전도성	(W/mK)	300