실리콘 카바이드 챔버 뚜껑

결정 성장 및 웨이퍼 처리 공정에 사용되는 탄화규소 챔버 뚜껑은 고온과 가혹한 화학적 세척을 견뎌야 합니다. Semicorex는 중국 내 실리콘 카바이드 코팅 흑연 서셉터의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 당사의 제품은 가격 경쟁력이 뛰어나며 유럽 및 미국 시장의 많은 부분을 포괄합니다. 우리는 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

단결정 성장이나 MOCVD 또는 웨이퍼 핸들링 공정에 사용되는 탄화규소 챔버 뚜껑은 고온과 혹독한 화학적 세척을 견뎌야 합니다. Semicorex는 고순도 탄화규소(SiC) 코팅 흑연 구조를 공급하여 우수한 내열성을 제공하고 균일한 에피층 두께와 저항성을 위한 균일한 열 균일성과 내구성 있는 내화학성을 제공합니다. 휘발성 전구체 가스, 플라즈마 및 고온의 조합을 경험할 수 있도록 내구성이 있습니다.
당사의 실리콘 카바이드 챔버 뚜껑은 최고의 층류 가스 흐름 패턴을 달성하도록 설계되어 열 프로파일의 균일성을 보장합니다. 이는 오염이나 불순물 확산을 방지하여 웨이퍼 칩의 고품질 에피택셜 성장을 보장합니다.
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실리콘 카바이드 챔버 뚜껑의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300