SiC 엔드 이펙터

Semicorex는 중국 내 실리콘 카바이드 코팅 흑연 서셉터의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 탄화규소층, 에피택시 반도체 등 반도체 산업에 주력하고 있습니다. 당사의 SiC 엔드 이펙터는 가격 경쟁력이 뛰어나며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

문의 보내기

제품 설명

Semicorex SiC End Effector는 SiC(실리콘 카바이드 코팅) 흑연으로 제작되며, 특정 등급의 고밀도 흑연에 CVD 공법으로 코팅을 적용하여 불활성 분위기에서 3000°C 이상의 고온로에서 작동할 수 있으며, 진공에서 2200°C.

당사의 SiC 엔드 이펙터는 최상의 층류 가스 흐름 패턴을 달성하도록 설계되어 열 프로파일의 균일성을 보장합니다. 이는 오염이나 불순물 확산을 방지하여 웨이퍼 칩의 고품질 에피택셜 성장을 보장합니다.

SiC 엔드 이펙터에 대해 자세히 알아보려면 지금 문의하세요.

SiC 엔드 이펙터의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300