세라믹 웨이퍼 보트

Semicorex는 수직/기둥 및 수평 구성 모두를 위한 웨이퍼 보트, 받침대 및 맞춤형 웨이퍼 캐리어를 제공합니다. 우리는 수년 동안 탄화 규소 코팅 필름의 제조업체 및 공급 업체였습니다. 당사의 세라믹 웨이퍼 보트는 가격 경쟁력이 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

다양한 산업 분야의 웨이퍼 가공을 위한 안정적인 솔루션을 제공하도록 설계된 고품질 탄화규소 세라믹 웨이퍼 보트를 소개합니다. 이 세라믹 받침대는 열충격, 마모 및 화학적 부식에 대한 탁월한 저항성을 제공하는 고순도 세라믹을 사용하여 제조되므로 열악한 웨이퍼 처리 환경에 이상적입니다.
당사의 세라믹 웨이퍼 보트는 고도로 맞춤화되어 있으며, 귀하와 협력하여 귀하의 고유한 사양에 맞는 맞춤형 받침대를 만들 수 있습니다. 우리는 고객의 요구 사항을 충족하는 고품질의 신뢰할 수 있는 제품을 제공하는 능력에 자부심을 갖고 있습니다. 당사의 세라믹 웨이퍼 보트는 내구성이 뛰어나고 긴 사용 수명을 제공하여 투자 대비 최고의 가치를 얻을 수 있도록 보장합니다.
지금 주문하고 웨이퍼 처리 작업에서 고품질 세라믹 웨이퍼 보트의 이점을 경험해 보세요.

세라믹 웨이퍼 보트의 매개변수

기술적 특성
색인	단위	값
재료 이름		반응 소결 실리콘 카바이드	무압력 소결 실리콘 카바이드	재결정화된 탄화규소
구성		RBSiC	SSiC	R-SiC
벌크 밀도	g/cm3	3	3.15±0.03	2.60-2.70
굴곡강도	MPa(kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
압축강도	MPa(kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
경도	단추	2700	2800	/
파괴적인 끈기	MPa·m1/2	4.5	4	/
열전도율	W/m.k	95	120	23
열팽창 계수	10^-6.1/°C	5	4	4.7
비열	줄/g 0k	0.8	0.67	/
공기 중 최대 온도	℃	1200	1500	1600
탄성률	평점	360	410	240

SSiC와 RBSiC의 차이점:

1. 소결 과정이 다릅니다. RBSiC는 유리 Si를 저온에서 탄화규소에 침투시키는 것이며, SSiC는 2100도에서 자연수축에 의해 형성된다.

2. SSiC는 더 매끄러운 표면, 더 높은 밀도 및 더 높은 강도를 갖습니다. 표면 요구 사항이 더 엄격한 일부 씰링의 경우 SSiC가 더 좋습니다.

3. 다양한 PH와 온도에서 사용 시간이 다르므로 SSiC는 RBSiC보다 길다.

세라믹 웨이퍼 보트의 특징

고순도 알루미나 세라믹을 사용하여 열충격, 마모, 화학적 부식에 대한 저항성이 우수합니다.
웨이퍼 처리 중 최적의 지지력과 안정성을 제공하도록 설계되어 손상이나 오염 위험을 최소화합니다.
다양한 웨이퍼 직경과 두께를 수용할 수 있도록 다양한 크기로 제공됩니다.
고유한 사양에 맞게 사용자 정의 가능
내구성이 뛰어나고 긴 서비스 수명을 제공하도록 제작됨