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세라믹 웨이퍼 보트
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세라믹 웨이퍼 보트

Semicorex는 수직/열 및 수평 구성 모두를 위한 웨이퍼 보트, 받침대 및 맞춤형 웨이퍼 캐리어를 제공합니다. 우리는 수년 동안 실리콘 카바이드 코팅 필름의 제조 및 공급 업체였습니다. 우리의 세라믹 웨이퍼 보트는 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

다양한 산업 분야에서 웨이퍼 처리를 위한 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공하도록 설계된 고품질 실리콘 카바이드 세라믹 웨이퍼 보트를 소개합니다. 이 세라믹 받침대는 고순도 세라믹을 사용하여 제조되어 열충격, 마모 및 화학적 부식에 대한 저항성이 뛰어나 열악한 웨이퍼 처리 환경에 이상적입니다.
당사의 세라믹 웨이퍼 보트도 고도로 맞춤화되어 있어 귀사와 협력하여 귀사의 고유한 사양에 맞는 맞춤형 받침대를 만들 수 있습니다. 우리는 고객의 요구를 충족하는 고품질의 신뢰할 수 있는 제품을 제공할 수 있는 능력에 자부심을 가지고 있습니다. 당사의 세라믹 웨이퍼 보트는 오래 지속되고 긴 서비스 수명을 제공하여 투자 가치를 최대한 활용할 수 있도록 합니다.
지금 주문하고 웨이퍼 처리 작업에서 고품질 세라믹 웨이퍼 보트의 이점을 경험하십시오.


세라믹 웨이퍼 보트의 매개변수

기술 속성

색인

단위

재료명

반응 소결 실리콘 카바이드

압력이 없는 소결 실리콘 카바이드

재결정 실리콘 카바이드

구성

RBSiC

SSiC

R-SiC

부피 밀도

g/cm3

3

3.15 ± 0.03

2.60-2.70

굴곡강도

MPa(kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C)90-100(1400°C)

압축 강도

MPa(kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

경도

누프

2700

2800

/

끈기 깨기

MPa·m1/2

4.5

4

/

열 전도성

W/m.k

95

120

23

열팽창 계수

10-6.1/°C

5

4

4.7

비열

줄/g 0k

0.8

0.67

/

공기 중 최대 온도

1200

1500

1600

탄성계수

GPA

360

410

240


SSiC와 RBSiC의 차이점:

1. 소결 공정이 다릅니다. RBSiC는 저온에서 탄화규소에 자유 Si를 침투시키는 것으로, SSiC는 2100도에서 자연수축에 의해 형성된다.

2. SSiC는 더 매끄러운 표면, 더 높은 밀도 및 더 높은 강도를 가지고 있습니다. 더 엄격한 표면 요구 사항이 있는 일부 밀봉의 경우 SSiC가 더 좋습니다.

3. 다른 PH 및 온도에서 다른 사용 시간, SSiC는 RBSiC보다 깁니다.


세라믹 웨이퍼 보트의 특징

고순도 알루미나 세라믹을 사용하여 열 충격, 마모 및 화학적 부식에 대한 저항성이 우수합니다.
웨이퍼 처리 중 최적의 지지력과 안정성을 위해 설계되어 손상이나 오염의 위험을 최소화합니다.
다양한 웨이퍼 직경과 두께를 수용할 수 있도록 다양한 크기로 제공
고유한 사양을 충족하도록 사용자 정의 가능
오래 지속되고 긴 서비스 수명을 제공하도록 제작되었습니다.



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