세라믹 웨이퍼 보트

Semicorex는 수직/열 및 수평 구성 모두를 위한 웨이퍼 보트, 받침대 및 맞춤형 웨이퍼 캐리어를 제공합니다. 우리는 수년 동안 실리콘 카바이드 코팅 필름의 제조 및 공급 업체였습니다. 우리의 세라믹 웨이퍼 보트는 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

다양한 산업 분야에서 웨이퍼 처리를 위한 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공하도록 설계된 고품질 실리콘 카바이드 세라믹 웨이퍼 보트를 소개합니다. 이 세라믹 받침대는 고순도 세라믹을 사용하여 제조되어 열충격, 마모 및 화학적 부식에 대한 저항성이 뛰어나 열악한 웨이퍼 처리 환경에 이상적입니다.
당사의 세라믹 웨이퍼 보트도 고도로 맞춤화되어 있어 귀사와 협력하여 귀사의 고유한 사양에 맞는 맞춤형 받침대를 만들 수 있습니다. 우리는 고객의 요구를 충족하는 고품질의 신뢰할 수 있는 제품을 제공할 수 있는 능력에 자부심을 가지고 있습니다. 당사의 세라믹 웨이퍼 보트는 오래 지속되고 긴 서비스 수명을 제공하여 투자 가치를 최대한 활용할 수 있도록 합니다.
지금 주문하고 웨이퍼 처리 작업에서 고품질 세라믹 웨이퍼 보트의 이점을 경험하십시오.

세라믹 웨이퍼 보트의 매개변수

기술 속성
색인	단위	값
재료명		반응 소결 실리콘 카바이드	압력이 없는 소결 실리콘 카바이드	재결정 실리콘 카바이드
구성		RBSiC	SSiC	R-SiC
부피 밀도	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
굴곡강도	MPa(kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
압축 강도	MPa(kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
경도	누프	2700	2800	/
끈기 깨기	MPa·m1/2	4.5	4	/
열 전도성	W/m.k	95	120	23
열팽창 계수	10^-6.1/°C	5	4	4.7
비열	줄/g 0k	0.8	0.67	/
공기 중 최대 온도	℃	1200	1500	1600
탄성계수	GPA	360	410	240

SSiC와 RBSiC의 차이점:

1. 소결 공정이 다릅니다. RBSiC는 저온에서 탄화규소에 자유 Si를 침투시키는 것으로, SSiC는 2100도에서 자연수축에 의해 형성된다.

2. SSiC는 더 매끄러운 표면, 더 높은 밀도 및 더 높은 강도를 가지고 있습니다. 더 엄격한 표면 요구 사항이 있는 일부 밀봉의 경우 SSiC가 더 좋습니다.

3. 다른 PH 및 온도에서 다른 사용 시간, SSiC는 RBSiC보다 깁니다.

세라믹 웨이퍼 보트의 특징

고순도 알루미나 세라믹을 사용하여 열 충격, 마모 및 화학적 부식에 대한 저항성이 우수합니다.
웨이퍼 처리 중 최적의 지지력과 안정성을 위해 설계되어 손상이나 오염의 위험을 최소화합니다.
다양한 웨이퍼 직경과 두께를 수용할 수 있도록 다양한 크기로 제공
고유한 사양을 충족하도록 사용자 정의 가능
오래 지속되고 긴 서비스 수명을 제공하도록 제작되었습니다.