세라믹 웨이퍼 캐리어

Semicorex는 반도체 산업의 탄화규소 층에 초점을 맞춘 OEM 반제조 도구 및 웨이퍼 처리 부품을 위한 반도체 등급 세라믹을 제공합니다. 우리는 수년 동안 세라믹 웨이퍼 캐리어의 제조업체이자 공급업체였습니다. 당사의 제품은 좋은 가격 이점을 갖고 있으며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

문의 보내기

제품 설명

실리콘 카바이드 세라믹 웨이퍼 캐리어는 부식에 대한 저항성이 우수하고 고온 및 열충격에 대한 저항성이 뛰어납니다. 또한 높은 탄성률로 인해 치수 안정성이 뛰어납니다. 또한, 세라믹 재료의 다공성이 0이고 기공 밀도가 낮습니다.
우리는 고객의 요구사항에 맞춰 모든 종류의 세라믹 웨이퍼 캐리어를 가공할 수 있습니다.

세라믹 웨이퍼 캐리어의 매개변수

기술적 특성
색인	단위	값
재료 이름		반응 소결 실리콘 카바이드	무압력 소결 실리콘 카바이드	재결정 실리콘 카바이드
구성		RBSiC	SSiC	R-SiC
벌크 밀도	g/cm3	3	3.15±0.03	2.60-2.70
굴곡강도	MPa(kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
압축강도	MPa(kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
경도	단추	2700	2800	/
파괴적인 끈기	MPa·m1/2	4.5	4	/
열전도율	W/m.k	95	120	23
열팽창 계수	10^-6.1/°C	5	4	4.7
비열	줄/g 0k	0.8	0.67	/
공기 중 최대 온도	℃	1200	1500	1600
탄성률	평점	360	410	240

세미코렉스는 Reaction Sintered Silicon Carbide(RBSiC), Pressureless Sintered Silicon Carbide(SSiC), Recrystal Silicon Carbide(R-SiC)의 3가지 형태로 Ceramic Wafer Carrier를 생산하고 있습니다.

SSiC와 RBSiC의 차이점:

1. 소결 과정이 다릅니다. RBSiC는 유리 Si를 저온에서 탄화규소에 침투시키는 것으로, SSiC는 2100도에서 자연수축에 의해 형성된다.

2. SSiC는 더 매끄러운 표면, 더 높은 밀도 및 더 높은 강도를 갖습니다. 표면 요구 사항이 더 엄격한 일부 씰링의 경우 SSiC가 더 좋습니다.

3. 다양한 PH와 온도에서 사용 시간이 다르므로 SSiC는 RBSiC보다 길다.

세라믹 웨이퍼 캐리어의 특징

고순도 SiC 코팅 흑연
우수한 내열성 및 열 균일성
매끄러운 표면을 위해 코팅된 미세 SiC 크리스탈
화학적 세척에 대한 높은 내구성
크랙 및 박리가 발생하지 않도록 재질을 설계하였습니다.

탄화규소 세라믹의 사용 가능한 형태:

● 세라믹 로드 / 세라믹 핀 / 세라믹 플런저

● 세라믹 튜브 / 세라믹 부싱 / 세라믹 슬리브

● 세라믹 링 / 세라믹 와셔 / 세라믹 스페이서

● 세라믹 디스크

● 세라믹 플레이트 / 세라믹 블록