맞춤형 SiC 캔틸레버 패들

Semicorex Custom SiC 캔틸레버 패들은 웨이퍼 로딩 시스템과 실리콘 웨이퍼가 적재된 석영 또는 SiC 웨이퍼 보트를 고온 처리 구역으로 운반하는 확산로의 핵심 사이의 중요한 연결 역할을 합니다. 디자인과 재료 특성은 이러한 까다로운 작업에 맞게 꼼꼼하게 최적화되었습니다.

안정적인 웨이퍼 운송을 위한 견고한 캔틸레버 구조:용광로까지 확장되는 견고한 암이 특징인 캔틸레버식 디자인은 웨이퍼 이동에 대한 탁월한 안정성과 정밀한 제어를 제공합니다. 이는 원활하고 진동 없는 운송을 보장하여 로딩 및 언로딩 중 웨이퍼 파손이나 정렬 불량의 위험을 최소화합니다.

효율적인 일괄 처리를 위한 높은 부하 용량:SiC 세라믹의 고유한 강도와 강성 덕분에 맞춤형 SiC 캔틸레버 패들은 실리콘 웨이퍼의 무거운 하중을 수용할 수 있어 각 확산 주기의 처리량을 최대화하고 생산량 증가에 기여합니다.

원활한 통합을 위한 정밀한 치수 제어: 맞춤형 SiC 캔틸레버 패들은 정확한 치수 사양에 맞게 꼼꼼하게 제작되어 확산로 시스템 내에 완벽하게 맞도록 보장하고 자동화된 웨이퍼 처리 로봇과의 원활한 통합을 촉진합니다.

특히 SiC 세라믹의 선택반응 보세 실리콘 카바이드(RBSiC)그리고소결 실리콘 카바이드(SSiC), 맞춤형 SiC 캔틸레버 패들을 위해 선택한 재료는 고온 환경에서의 탁월한 성능 특성에서 비롯됩니다.

흔들리지 않는 고온 안정성: 맞춤형 SiC 캔틸레버 패들은 확산로 내에서 발생하는 높은 온도(최대 1600°C)에서도 변형 및 크리프에 대한 탁월한 저항성을 나타냅니다. 이는 일관된 웨이퍼 지지를 보장하고 웨이퍼 균일성을 손상시킬 수 있는 처짐이나 굽힘을 방지합니다.

뛰어난 열충격 저항:수많은 확산 주기 동안 맞춤형 SiC 캔틸레버 패들의 무결성을 유지하려면 손상 없이 빠른 온도 변화를 견딜 수 있는 능력이 중요합니다. SiC 세라믹은 이러한 점에서 탁월한 성능을 발휘하여 가동 중지 시간으로 인해 비용이 많이 드는 균열이나 파손의 위험을 최소화합니다.

정확한 정렬을 위한 낮은 열팽창:SiC 세라믹의 최소 열팽창은 맞춤형 SiC 캔틸레버 패들이 작동 중 경험하는 넓은 온도 범위에서 치수 안정성을 유지하도록 보장합니다. 이는 가열로 내에서 정확한 웨이퍼 정렬을 유지하고 균일한 가열과 일관된 확산 프로파일을 보장하는 데 중요합니다.