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웨이퍼 처리용 엔드 이펙터

웨이퍼 처리용 엔드 이펙터

웨이퍼 처리용 Semicorex 엔드 이펙터는 웨이퍼 처리를 위해 치수가 정확하고 열적으로 안정적입니다. 우리는 수년 동안 실리콘 카바이드 코팅 요소의 제조업체이자 공급업체였습니다. 우리의 제품은 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

웨이퍼 처리용 Semicorex 엔드 이펙터는 치수가 정확하고 열적으로 안정적이며 매끄럽고 내마모성 CVD SiC 코팅 필름을 사용하여 장치를 손상시키거나 미립자 오염을 생성하지 않고 웨이퍼를 안전하게 처리하여 웨이퍼 처리 장비와 캐리어의 위치 사이에서 반도체 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 정확하고 효율적으로. 당사의 웨이퍼 처리용 고순도 실리콘 카바이드(SiC) 코팅 엔드 이펙터는 우수한 내열성, 균일한 열 균일성으로 일관된 에피층 두께 및 저항성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다.

Semicorex는 고객에게 고품질의 비용 효율적인 제품을 제공하는 데 중점을 둡니다. Wafer Handling용 엔드 이펙터는 가격 이점이 있으며 많은 유럽 및 미국 시장에 수출됩니다. 우리는 일관된 품질의 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되는 것을 목표로 합니다.


웨이퍼 처리를 위한 엔드 이펙터의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


웨이퍼 처리용 엔드 이펙터의 특징

CVD법을 이용한 고순도 SiC 코팅

우수한 내열성 및 열 균일성

매끄러운 표면을 위해 코팅된 미세 SiC 크리스탈

화학 세정에 대한 높은 내구성

균열 및 박리가 발생하지 않도록 재료가 설계되었습니다.




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