웨이퍼 핸들링을 위한 엔드 이펙터

웨이퍼 처리용 Semicorex 엔드 이펙터는 웨이퍼 처리를 위해 치수가 정확하고 열적으로 안정적입니다. 우리는 수년 동안 탄화 규소 코팅 요소의 제조업체이자 공급 업체였습니다. 당사의 제품은 좋은 가격 이점을 갖고 있으며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

웨이퍼 핸들링을 위한 Semicorex 엔드 이펙터는 치수가 정확하고 열적으로 안정적이며 매끄럽고 내마모성이 있는 CVD SiC 코팅 필름을 갖추고 있어 장치를 손상시키거나 웨이퍼 처리 장비와 캐리어의 위치 간에 반도체 웨이퍼를 이동할 수 있는 미립자 오염을 생성하지 않고 웨이퍼를 안전하게 핸들링할 수 있습니다. 정확하고 효율적으로. 당사의 웨이퍼 핸들링용 고순도 탄화규소(SiC) 코팅 엔드 이펙터는 뛰어난 내열성을 제공하고, 균일한 에피층 두께와 저항성을 위한 균일한 열 균일성과 내구성 있는 내화학성을 제공합니다.

Semicorex에서는 고객에게 고품질의 비용 효율적인 제품을 제공하는 데 중점을 두고 있습니다. 당사의 웨이퍼 핸들링용 엔드 이펙터는 가격 우위를 가지고 있으며 유럽과 미국의 많은 시장으로 수출되고 있습니다. 우리는 일관된 품질의 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되는 것을 목표로 합니다.

웨이퍼 핸들링을 위한 엔드 이펙터의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300