에피택셜 웨이퍼 보트

Semicorex는 수직/열 및 수평 구성 모두를 위한 웨이퍼 보트, 받침대 및 맞춤형 웨이퍼 캐리어를 제공합니다. 우리는 수년 동안 실리콘 카바이드 코팅 필름의 제조 및 공급 업체였습니다. 당사의 에피택셜 웨이퍼 보트는 가격 이점이 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex Epitaxial Wafer Boat는 반도체 제조에서 웨이퍼 처리를 위한 완벽한 솔루션입니다. 당사의 에피택셜 웨이퍼 보트는 고온 및 화학적 부식에 대한 우수한 내성을 제공하는 고품질 실리콘 카바이드(SiC) 세라믹으로 제작됩니다.
당사의 실리콘 카바이드 에피택셜 웨이퍼 보트는 입자 생성을 최소화하는 매끄러운 표면을 가지고 있어 제품의 최고 수준의 순도를 보장합니다. 우수한 열전도율과 뛰어난 기계적 강도를 갖춘 당사의 보트는 일관되고 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다.
당사의 에피택셜 웨이퍼 보트는 모든 표준 웨이퍼 처리 장비와 호환되며 최대 1600°C의 온도를 견딜 수 있습니다. 취급 및 세척이 용이하여 제조 요구에 맞는 비용 효율적이고 효율적인 선택입니다.
우리의 전문가 팀은 최고의 품질과 서비스를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 귀하의 특정 요구 사항을 충족하는 맞춤형 디자인을 제공하며 당사 제품은 품질 보증 프로그램의 지원을 받습니다.

에피택셜 웨이퍼 보트의 매개변수

기술 속성
색인	단위	값
재료명		반응 소결 실리콘 카바이드	압력이 없는 소결 실리콘 카바이드	재결정 실리콘 카바이드
구성		RBSiC	SSiC	R-SiC
부피 밀도	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
굴곡강도	MPa(kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
압축 강도	MPa(kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
경도	누프	2700	2800	/
끈기 깨기	MPa·m1/2	4.5	4	/
열 전도성	W/m.k	95	120	23
열팽창 계수	10^-6.1/°C	5	4	4.7
비열	줄/g 0k	0.8	0.67	/
공기 중 최대 온도	℃	1200	1500	1600
탄성계수	GPA	360	410	240