> 제품 > 실리콘 카바이드 세라믹 > 웨이퍼 보트 > 에피택셜 웨이퍼 보트
에피택셜 웨이퍼 보트
  • 에피택셜 웨이퍼 보트에피택셜 웨이퍼 보트
  • 에피택셜 웨이퍼 보트에피택셜 웨이퍼 보트
  • 에피택셜 웨이퍼 보트에피택셜 웨이퍼 보트
  • 에피택셜 웨이퍼 보트에피택셜 웨이퍼 보트
  • 에피택셜 웨이퍼 보트에피택셜 웨이퍼 보트

에피택셜 웨이퍼 보트

Semicorex는 수직/열 및 수평 구성 모두를 위한 웨이퍼 보트, 받침대 및 맞춤형 웨이퍼 캐리어를 제공합니다. 우리는 수년 동안 실리콘 카바이드 코팅 필름의 제조 및 공급 업체였습니다. 당사의 에피택셜 웨이퍼 보트는 가격 이점이 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

문의 보내기

제품 설명

Semicorex Epitaxial Wafer Boat는 반도체 제조에서 웨이퍼 처리를 위한 완벽한 솔루션입니다. 당사의 에피택셜 웨이퍼 보트는 고온 및 화학적 부식에 대한 우수한 내성을 제공하는 고품질 실리콘 카바이드(SiC) 세라믹으로 제작됩니다.
당사의 실리콘 카바이드 에피택셜 웨이퍼 보트는 입자 생성을 최소화하는 매끄러운 표면을 가지고 있어 제품의 최고 수준의 순도를 보장합니다. 우수한 열전도율과 뛰어난 기계적 강도를 갖춘 당사의 보트는 일관되고 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다.
당사의 에피택셜 웨이퍼 보트는 모든 표준 웨이퍼 처리 장비와 호환되며 최대 1600°C의 온도를 견딜 수 있습니다. 취급 및 세척이 용이하여 제조 요구에 맞는 비용 효율적이고 효율적인 선택입니다.
우리의 전문가 팀은 최고의 품질과 서비스를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 귀하의 특정 요구 사항을 충족하는 맞춤형 디자인을 제공하며 당사 제품은 품질 보증 프로그램의 지원을 받습니다.


에피택셜 웨이퍼 보트의 매개변수

기술 속성

색인

단위

재료명

반응 소결 실리콘 카바이드

압력이 없는 소결 실리콘 카바이드

재결정 실리콘 카바이드

구성

RBSiC

SSiC

R-SiC

부피 밀도

g/cm3

3

3.15 ± 0.03

2.60-2.70

굴곡강도

MPa(kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C)90-100(1400°C)

압축 강도

MPa(kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

경도

누프

2700

2800

/

끈기 깨기

MPa·m1/2

4.5

4

/

열 전도성

W/m.k

95

120

23

열팽창 계수

10-6.1/°C

5

4

4.7

비열

줄/g 0k

0.8

0.67

/

공기 중 최대 온도

1200

1500

1600

탄성계수

GPA

360

410

240


SSiC와 RBSiC의 차이점:

1. 소결 공정이 다릅니다. RBSiC는 저온에서 탄화규소에 자유 Si를 침투시키는 것으로, SSiC는 2100도에서 자연수축에 의해 형성된다.

2. SSiC는 더 매끄러운 표면, 더 높은 밀도 및 더 높은 강도를 가지고 있습니다. 더 엄격한 표면 요구 사항이 있는 일부 밀봉의 경우 SSiC가 더 좋습니다.

3. 다른 PH 및 온도에서 다른 사용 시간, SSiC는 RBSiC보다 깁니다.


실리콘 카바이드 에피 택셜 웨이퍼 보트의 특징

MOCVD로 코팅된 고순도 SiC
우수한 내열성 및 열 균일성
매끄러운 표면을 위해 코팅된 미세 SiC 크리스탈
화학 세정에 대한 높은 내구성
균열 및 박리가 발생하지 않도록 재료가 설계되었습니다.



핫 태그: 에피택셜 웨이퍼 보트, 중국, 제조업체, 공급업체, 공장, 맞춤형, 대량, 고급, 내구성

관련 카테고리

문의 보내기

문의사항은 아래 양식으로 부담없이 보내주세요. 24시간 이내에 회신해 드리겠습니다.