에피택셜 웨이퍼 보트

Semicorex는 수직/기둥 및 수평 구성 모두를 위한 웨이퍼 보트, 받침대 및 맞춤형 웨이퍼 캐리어를 제공합니다. 우리는 수년 동안 탄화 규소 코팅 필름의 제조업체 및 공급 업체였습니다. 당사의 에피택셜 웨이퍼 보트는 가격 경쟁력이 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

Semicorex Epitaxis Wafer Boat는 반도체 제조 시 웨이퍼 처리를 위한 완벽한 솔루션입니다. 당사의 에피택셜 웨이퍼 보트는 고온 및 화학적 부식에 대한 탁월한 저항성을 제공하는 고품질 실리콘 카바이드(SiC) 세라믹으로 제작되었습니다.
당사의 탄화규소 에피택셜 웨이퍼 보트는 표면이 매끄러워 입자 생성을 최소화하여 제품의 최고 수준 순도를 보장합니다. 뛰어난 열 전도성과 우수한 기계적 강도를 갖춘 당사 보트는 일관되고 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다.
당사의 에피택셜 웨이퍼 보트는 모든 표준 웨이퍼 처리 장비와 호환되며 최대 1600°C의 온도를 견딜 수 있습니다. 취급 및 청소가 용이하여 제조 요구 사항에 맞는 비용 효율적이고 효율적인 선택이 됩니다.
우리의 전문가 팀은 최고의 품질과 서비스를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 귀하의 특정 요구 사항을 충족하는 맞춤형 디자인을 제공하며 당사의 제품은 품질 보증 프로그램의 지원을 받습니다.

에피택셜 웨이퍼 보트의 매개변수

기술적 특성
색인	단위	값
재료 이름		반응 소결 실리콘 카바이드	무압력 소결 실리콘 카바이드	재결정 실리콘 카바이드
구성		RBSiC	SSiC	R-SiC
벌크 밀도	g/cm3	3	3.15±0.03	2.60-2.70
굴곡강도	MPa(kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
압축강도	MPa(kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
경도	단추	2700	2800	/
파괴적인 끈기	MPa·m1/2	4.5	4	/
열전도율	W/m.k	95	120	23
열팽창 계수	10^-6.1/°C	5	4	4.7
비열	줄/g 0k	0.8	0.67	/
공기 중 최대 온도	℃	1200	1500	1600
탄성률	평점	360	410	240