탁월한 순도의 탄화규소로 제작된 Semicorex 고순도 SiC 보트는 뛰어난 열 안정성, 기계적 견고성 및 화학물질에 대한 내성을 보여줍니다. 이러한 재료 선택은 잠재적인 오염을 줄이고, 웨이퍼를 위험으로부터 보호하며, 반도체 제조에서 직면하는 엄격한 조건을 견디는 데 중요합니다. 시장을 선도하는 고품질 제품을 제조 및 공급하려는 Semicorex의 노력은 경쟁력 있는 재정 고려 사항과 결합되어 귀하의 반도체 웨이퍼 운송 요구 사항을 충족하기 위한 파트너십을 구축하려는 우리의 열의를 확고히 합니다.
뛰어난 열적 특성: Semicorex 고순도 SiC 보트는 고온 환경에서 놀라운 안정성을 보유하고 열을 효과적으로 전도하여 주변 온도보다 훨씬 높은 온도에서도 작동할 수 있습니다. 이러한 특성으로 인해 고순도 SiC 보트는 높은 출력과 높은 온도 내구성이 필요한 응용 분야에 유리하게 자리매김하고 있습니다.
부식성 환경에 대한 내성: 고순도 SiC 보트는 다양한 부식제에 대한 강력한 내성을 나타내며, 보트는 끈질긴 결합 강도로 강화되어 장기간 기계적 무결성을 유지하여 작동 수명 연장에 기여합니다.
치수 무결성: 고순도 SiC 보트의 소결 단계에서는 수축이 발생하지 않으므로 부품의 뒤틀림이나 파손으로 이어질 수 있는 잔류 응력이 방지됩니다. 결과적으로 정확한 치수로 복잡한 모양의 부품을 제작할 수 있습니다.
다면적인 구현 기능을 갖춘 Semicorex 고순도 SiC 보트는 에피택셜 성장 및 화학 기상 증착을 포함한 다양한 반도체 제조 기술 전반에 걸쳐 유용성을 찾습니다. 내구성이 뛰어난 설계와 화학적 비반응성으로 인해 고순도 SiC 보트는 다양한 처리 화학 물질에 적합하게 되어 다양한 처리 설정에 원활하게 통합될 수 있습니다.