수평형 실리콘 카바이드 보트

세미코어렉스 수평실리콘 카바이드 보트3D 프린팅 기술을 이용하여 일체형으로 성형한 후 고온 소결을 통해 제작합니다. 다양한 고온 수평 용해로 크기에 맞게 특별히 제작된 이 구성 요소는 확산, 산화 및 화학 기상 증착을 포함한 중요한 고온 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 고정을 확실하게 확보하기 위해 널리 적용됩니다.

탄화규소의 물리화학적 성질

Semicorex 수평형 탄화규소 보트의 장점s

1.안정적인 지지와 포지션

비교할 수 없는 재료 강도와 경도로 인해 Semicorex 수평 탄화 규소 보트는 탁월한 지지력을 제공하여 여러 개의 웨이퍼를 동시에 안정적으로 운반할 수 있습니다. 정밀 슬롯 가공을 통해 Semicorex 수평 탄화 규소 보트는 반도체 웨이퍼를 단단히 고정하고 안전하게 유지할 수 있습니다. 균일한 간격의 슬롯 구조는 웨이퍼가 전체 처리 주기 동안 고정된 위치를 유지하도록 보장하여 반도체 제조 공정의 일관성과 정밀도를 보장합니다.

2.복잡한 작동 조건에 대한 호환성

뛰어난 고온 저항성과 내부식성 덕분에 Semicorex 수평형 탄화규소 보트는 산소, 질소 또는 저농도 염화수소의 고온 대기와 같은 엄격한 작동 환경을 견딜 수 있습니다. 이러한 탁월한 재료 특성은 고온 부식성 가스로 인한 부식 및 손상을 효과적으로 방지하여 보트의 작동 수명을 크게 연장시킵니다.

3. 탁월한 청정도 성능

기존의 탄화규소 코팅 흑연 보트와 달리 Semicorex 수평형 탄화규소 보트는 반도체 등급의 고순도 재료로 제작됩니다.탄화규소(99.999%)로 불순물 함량이 매우 낮습니다. 이 프리미엄 소재 선택은 고온 및 가혹한 부식 환경에 노출되는 경우에도 오염물질 가스 방출 또는 코팅 박리 위험을 제거합니다. 또한 당사의 각 실리콘 카바이드 보트는 진공 포장 전에 엄격한 초음파 세척 공정을 거쳐 고급 반도체 제조 공정에서 요구되는 청결도 표준 준수를 보장합니다.