리소그래피 기계 해골

Semicorex 리소그래피 기계 골격은 뛰어난 재료 특성을 결합하여 반도체 제조의 엄격한 요구 사항을 충족합니다. SiC는 뛰어난 강성과 강성을 제공하여 기계적 응력 하에서 변형을 최소화합니다. 이는 리소그래피 공정 중에 정확한 정렬과 정확성을 유지하는 데 중요합니다.

실리콘 카바이드는 큰 팽창이나 수축 없이 고온을 견딜 수 있어 탁월한 열 안정성을 나타냅니다. 리소그래피 기계 골격의 이러한 안정성은 온도가 변동하는 환경에서 일관된 성능과 정확성을 유지하는 데 필수적입니다. SiC의 낮은 열팽창 계수는 치수 변화를 최소화하는 데 도움이 되므로 열 순환 중에 리소그래피 기계 골격이 안정적이고 정확하게 유지되도록 보장합니다.

탄화규소 기반 리소그래피 기계 골격은 특히 반도체 산업의 고급 포토리소그래피 장비에 사용하도록 설계되었습니다. 그 역할은 광학 시스템, 스테이지 및 기타 정밀 기기와 같은 중요한 구성 요소를 지원하는 강력하고 안정적인 프레임워크를 제공하는 것입니다.

리소그래피 기계 뼈대에 탄화규소를 활용하면 높은 강성, 열 안정성, 내화학성 및 경량 강도가 결합됩니다. 이러한 특성으로 인해 반도체 장치 제조에 필요한 정밀도와 신뢰성을 보장하는 데 이상적인 선택이 됩니다.