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MOCVD 주입구 링

MOCVD 주입구 링

Semicorex는 중국의 실리콘 카바이드 코팅 흑연의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 당사의 MOCVD 인렛 링은 가격면에서 유리하며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex는 증착 및 웨이퍼 공정에 사용되는 MOCVD Inlet Ring을 공급하며 RTA, RTP 또는 가혹한 화학 세정에 매우 안정적입니다. 당사의 MOCVD 주입구 링은 고순도 실리콘 카바이드(SiC) 코팅 흑연 구조로 되어 있어 우수한 내열성, 균일한 열 균일성으로 일관된 에피층 두께 및 저항성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다. 미세한 SiC 결정 코팅은 깨끗한 웨이퍼가 전체 영역의 많은 지점에서 서셉터와 접촉하기 때문에 취급에 중요한 깨끗하고 매끄러운 표면을 제공합니다.

Semicorex는 고품질의 비용 효율적인 MOCVD 인렛 링을 제공하는 데 중점을 두고 있으며 고객 만족을 우선시하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고품질 제품과 뛰어난 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.


MOCVD 입구 링의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


MOCVD 주입구 링의 특징

- 밀도가 좋고 고온 및 부식성 작업 환경에서 우수한 보호 역할을 할 수 있습니다.

- 고융점, 고온 내산화성, 내식성.




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