MOCVD 입구 링

Semicorex는 중국 내 실리콘 카바이드 코팅 흑연의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 당사의 MOCVD 인렛 링은 가격 경쟁력이 뛰어나며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

Semicorex는 증착 및 웨이퍼 처리에 사용되는 MOCVD Inlet Ring을 공급하며 이는 RTA, RTP 또는 혹독한 화학 세척에 매우 안정적입니다. 당사의 MOCVD 주입구 링은 고순도 탄화규소(SiC) 코팅 흑연 구조를 갖추고 있어 우수한 내열성, 균일한 에피층 두께 및 저항성을 위한 균일한 열 균일성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다. 정밀한 SiC 크리스탈 코팅은 깨끗하고 매끄러운 표면을 제공하며, 깨끗한 웨이퍼는 전체 영역의 여러 지점에서 서셉터와 접촉하므로 취급에 매우 중요합니다.

Semicorex에서는 고품질의 비용 효율적인 MOCVD Inlet Ring을 제공하는 데 중점을 두고 고객 만족을 최우선으로 하며 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 우리는 고품질 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

MOCVD 입구 링의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300