고순도 석영은 놀라운 물리적, 화학적 특성을 가지고 있습니다. 고유한 결정 구조, 모양 및 격자 변화는 고온 저항, 내식성, 내마모성, 낮은 열팽창 계수, 높은 절연성, 압전 효과, 공진 효과 및 고유한 광학 특성과 같은 탁월한 특성에 기여합니다. 이러한 특성은 전략 산업과 핵심 산업의 발전을 위한 대체할 수 없는 기초 자료가 됩니다.
반도체 기술은 현대 문명의 중추 역할을 해 왔으며, 우리가 살고 일하고 세계와 상호 작용하는 방식을 근본적으로 변화시켰습니다. 이는 정보기술, 에너지, 통신, 헬스케어 등 다양한 분야에서 유례없는 발전을 가능하게 했습니다. 스마트폰과 컴퓨터에 전원을 공급하는 마이크로프로세서부터 의료 기기의 센서, 재생 에너지 시스템의 전력 전자 장치에 이르기까지 반도체는 지난 세기의 거의 모든 기술 혁신의 핵심입니다.
현대 기술 발전의 초석인 반도체 제조는 더 작고, 더 빠르며, 더 효율적인 집적 회로를 끊임없이 추구하고 있습니다. 이러한 끊임없는 추구로 인해 각 단계는 고성능, 고품질, 고정밀 장비에 크게 의존하는 점점 더 정확하고 정교한 제조 프로세스의 필요성이 높아졌습니다. 고성능 구조용 세라믹 소재인 탄화규소(SiC)는 이러한 까다로운 환경에서 중요한 역할을 합니다.
이 문서에서는 고밀도 SiC 세라믹을 생산하는 데 사용되는 다양한 제조 기술에 대한 포괄적인 개요를 제공하고 고유한 특성과 응용 분야를 강조합니다.
흑연화 정도는 탄소 원자가 촘촘하게 채워진 육각형 흑연 결정 구조를 형성하는 데 얼마나 가까운지 평가하는 데 사용되는 필수 척도입니다.
ESC(정전기 척)는 반도체 제조 및 평면 패널 디스플레이 생산에 없어서는 안 될 요소가 되었으며 중요한 처리 단계에서 섬세한 웨이퍼와 기판을 고정하고 배치하기 위한 손상이 없고 고도로 제어 가능한 방법을 제공합니다. 이 기사에서는 작동 원리, 다양한 접착 메커니즘 및 기본 구조 구성 요소를 탐구하면서 ESC 기술의 복잡성을 자세히 살펴봅니다.