다공성 sic 진공 척

Semicorex porous siC 진공 척은 반도체 처리의 모든 단계 동안 웨이퍼의 정확하고 안정적인 위치를 달성하기위한 취급 솔루션을 나타냅니다. 이 진공 척은 웨이퍼 처리 및 기판 정렬 응용 프로그램에 대한 우수한 그립을 보유하여 신뢰성과 성능을 향상시킵니다. 기본 재료 선택 (SUS430, 알루미늄 합금 6061, 고밀도 알루미나 세라믹, 화강암 및 실리콘 카바이드 세라믹)은 열 성능, 기계적 특성 또는 체중의 개별 요구 사항에 따라 최적의 재료를 선택할 수있는 사용자의 유연성을 제공합니다.

더 나은 재료 선택 : 다공성 sic 진공 척의 바닥은 다양한 요구에 맞게 다른 재료로 변경할 수 있습니다.

• SUS430 : 일반적인 용도로 녹슬지 않는 저렴한 옵션.
• 알루미늄 합금 6061 : 강도, 가벼운 중량 및 훌륭한 작업 성이 혼합되어 일반 웨이퍼 처리에 적합합니다.
• 밀도가 높은 알루미나 세라믹 (99% AL2O3) : 고온 또는 정밀 적용에 적합한 우수한 열 안정성과 높은 경도를 제공합니다.
• 화강암 : 탁월한 평탄도와 안정성으로 유명한 화강암은 낮은 열 팽창을 제공하여 높은 정밀도가 필요한 응용 분야에 이상적입니다.
• 실리콘 카바이드 세라믹 : 높은 열전도율, 화학 저항 및 내구성으로 알려진 SIC는 극한 조건이 발생하는 고성능 환경에 이상적입니다.

높은 정밀 평탄도 : 다공성 SIC 진공 척은 사용 된 재료에 따라 정밀도가 다양하게 우수한 평탄도를 보장합니다. 평평성이 가장 높은 자료 순위는 다음과 같습니다.

화강암 및 실리콘 카바이드 세라믹 : 두 재료 모두 높은 정밀 평탄도를 제공하여 가장 까다로운 가공 환경에서도 웨이퍼 안정성을 보장합니다.

고밀도 알루미나 (99% AL2O3) : 화강암 및 SIC에 비해 평탄도가 약간 적지 만 일반 반도체 응용 분야에 여전히 좋은 정확도를 제공합니다.

알루미늄 합금 6061 및 SUS430 : 약간 낮은 평탄도 정밀도를 제공하지만 덜 까다로운 응용 분야에서 웨이퍼 처리에 여전히 신뢰할 수 있습니다.

특정 요구에 대한 중량 변동 : 다공성 SIC 진공 척을 통해 사용자는 중량 요구 사항에 따라 다양한 재료 옵션 중에서 선택할 수 있습니다.

알루미늄 합금 6061 : 가장 가벼운 재료 선택, 쉬운 취급 및 운송을 제공합니다.

화강암 : 높은 안정성을 제공하고 처리 중에 진동을 최소화하는 더 무거운 기본 재료.

실리콘 카바이드 세라믹 : 내구성과 열전도율의 균형을 제공하는 중량이 적당합니다.

고밀도 알루미나 세라믹 : 안정성과 높은 열 저항이 우선 ​​순위가 높은 응용 분야에 이상적입니다.

높은 내구성 및 성능 : 다공성 SIC 진공 척은 오래 지속되는 성능을 위해 설계되어 극심한 온도 변화를 견딜 수 있으며 반도체 처리와 관련된 마모. 실리콘 카바이드 세라믹 변종은 열 팽창 및 부식에 대한 예외적 인 저항으로 인해 고온 및 화학적으로 공격적인 환경에 특히 유리합니다.

비용 효율적인 솔루션 : 다공성 SIC 진공 척은 여러 재료 옵션을 사용하여 다양한 예산 및 응용 프로그램 요구 사항에 맞게 조정할 수있는 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 일반적인 응용 분야의 경우 알루미늄 합금 및 SUS430은 비용 효율적이며 여전히 만족스러운 성능을 제공합니다. 보다 까다로운 환경의 경우 화강암 또는 SIC 세라믹 옵션은 성능과 내구성을 향상시킵니다.

응용 프로그램 :

다공성 SIC 진공 척은 주로 반도체 산업에서 다음과 같은 프로세스를 포함하여 웨이퍼 취급을 위해 사용됩니다.

• 웨이퍼 다이 싱 및 절단
• 태양 광 발전
• MOCVD 및 CVD 에피 택시 성장
• 이온 임플란트
• 산화 및 확산 공정

Semicorex의 다공성 SIC 진공 척은 정밀성, 다양성 및 내구성으로 두드러집니다. 일반적인 취급을위한 경량 솔루션 또는 고성능 반도체 프로세스를위한 고급 재료가 필요한지 여부에 관계없이 당사의 제품은 귀하의 요구를 충족시키기위한 광범위한 옵션을 제공합니다. 최고 품질 표준으로 제조 된 진공 척은 다양한 응용 프로그램에 대한 신뢰할 수 있고 효율적인 웨이퍼 처리를 보장하여 표준 및 전문 프로세스 모두에서 일관된 결과를 제공합니다.

웨이퍼 안정성과 정확한 취급이 중요한 산업의 경우 다공성 SIC 진공 척은 이상적인 솔루션을 제공합니다. 재료를 선택하고 정밀도 및 탁월한 내구성을 갖추면 광범위한 반도체 프로세스에 완벽한 선택입니다.