확산로용 공정 튜브

확산로용 Semicorex 프로세스 튜브는 반도체 장치 제조에 사용되는 특수 부품입니다. 이는 반도체 웨이퍼에 불순물을 도입하여 전기적 특성을 변경하는 확산 공정에 제어된 환경을 제공하도록 설계되었습니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

확산로용 Semicorex 프로세스 튜브는 일반적으로 CVD SiC 코팅이 적용된 고순도 SiC로 만들어집니다. 이러한 재료는 뛰어난 열 안정성과 부식성 가스 및 고온에 대한 저항성을 위해 선택되었습니다.

확산로용 Semicorex 공정 튜브는 원통형 모양으로 끝이 닫혀 있고 끝이 열려 있습니다. 이는 확산로에 삽입되어 확산 공정이 이루어지는 밀봉된 챔버를 형성합니다. 튜브는 가스 누출을 방지하고 퍼니스 내에서 제어된 분위기를 유지하도록 세심하게 설계되었습니다.

확산로용 프로세스 튜브는 반도체 장치 제조에 중요한 역할을 합니다. 이는 확산 공정을 위한 제어된 환경을 제공하여 균일한 도핑 프로파일과 공정 매개변수에 대한 정밀한 제어를 보장합니다. 고순도 재료의 사용과 신중한 설계 고려 사항은 프로세스 튜브의 무결성을 유지하고 고품질 반도체 웨이퍼 생산을 보장하는 데 도움이 됩니다.