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로봇 엔드 이펙터

로봇 엔드 이펙터

Semicorex는 반도체 제조의 실리콘 카바이드 코팅 흑연, 실리콘 카바이드 세라믹, MOCVP 영역에 중점을 둔 탄화규소 코팅 흑연, 정밀 가공된 고순도 흑연의 선도적인 독립 소유 제조업체입니다. 우리의 로봇 엔드 이펙터는 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Robot End Effector는 반도체 웨이퍼를 웨이퍼 처리 장비와 캐리어 사이에서 이동시키는 로봇의 손입니다. 로봇 엔드 이펙터는 장치를 손상시키거나 미립자 오염을 일으키지 않고 웨이퍼를 안전하게 처리할 수 있도록 매끄럽고 내마모성 표면이 있는 동시에 치수가 정확하고 열적으로 안정적이어야 합니다. 당사의 고순도 실리콘 카바이드(SiC) 코팅 로봇 엔드 이펙터는 우수한 내열성, 균일한 열 균일성으로 균일한 에피층 두께 및 저항성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다.


로봇 엔드 이펙터의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


로봇 엔드 이펙터의 특징

고순도 SiC 코팅 흑연

우수한 내열성 및 열 균일성

매끄러운 표면을 위해 코팅된 미세 SiC 크리스탈

화학 세정에 대한 높은 내구성

균열 및 박리가 발생하지 않도록 재료가 설계되었습니다.




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