로봇 엔드 이펙터

Semicorex는 반도체 제조의 실리콘 카바이드 코팅 흑연, 실리콘 카바이드 세라믹, MOCVP 영역에 중점을 둔 탄화규소 코팅 흑연, 정밀 가공된 고순도 흑연의 선도적인 독립 소유 제조업체입니다. 우리의 로봇 엔드 이펙터는 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Robot End Effector는 반도체 웨이퍼를 웨이퍼 처리 장비와 캐리어 사이에서 이동시키는 로봇의 손입니다. 로봇 엔드 이펙터는 장치를 손상시키거나 미립자 오염을 일으키지 않고 웨이퍼를 안전하게 처리할 수 있도록 매끄럽고 내마모성 표면이 있는 동시에 치수가 정확하고 열적으로 안정적이어야 합니다. 당사의 고순도 실리콘 카바이드(SiC) 코팅 로봇 엔드 이펙터는 우수한 내열성, 균일한 열 균일성으로 균일한 에피층 두께 및 저항성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다.

로봇 엔드 이펙터의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β 단계
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	J·kg-1·K-1	640
승화 온도	℃	2700
쇠약한 힘	MPa(RT 4점)	415
영률	GPA (4pt 굽힘, 1300â)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열 전도성	(W/mK)	300