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로봇 엔드 이펙터

로봇 엔드 이펙터

Semicorex는 반도체 제조의 실리콘 카바이드 코팅 흑연, 실리콘 카바이드 세라믹, MOCVP 분야에 초점을 맞춘 실리콘 카바이드 코팅 흑연, 정밀 가공 고순도 흑연의 독립적 소유 선두 제조업체입니다. 우리의 로봇 엔드 이펙터는 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

로봇 엔드 이펙터(Robot End Effector)는 웨이퍼 가공 장비와 캐리어 사이에서 반도체 웨이퍼를 이동시키는 로봇의 손입니다. 로봇 엔드 이펙터는 장치를 손상시키거나 미립자 오염을 일으키지 않고 웨이퍼를 안전하게 처리할 수 있도록 치수가 정확하고 열적으로 안정적이어야 하며, 부드럽고 내마모성 표면을 가져야 합니다. 당사의 고순도 탄화규소(SiC) 코팅 로봇 엔드 이펙터는 우수한 내열성, 균일한 에피층 두께 및 저항성을 위한 균일한 열 균일성, 내구성 있는 내화학성을 제공합니다.


로봇 엔드 이펙터의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β상

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

Jkg-1 K-1

640

승화 온도

2700

굽힘 강도

MPa(RT 4점)

415

영률

Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열전도율

(W/mK)

300


로봇 엔드 이펙터의 특징

고순도 SiC 코팅 흑연

우수한 내열성 및 열 균일성

매끄러운 표면을 위해 코팅된 미세 SiC 크리스탈

화학적 세척에 대한 높은 내구성

크랙 및 박리가 발생하지 않도록 재질을 설계하였습니다.




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