실리콘 카세트 보트

탁월한 고순도 다결정 실리콘 또는 단결정 실리콘으로 만들어진 실리콘 카세트 보트는 다음과 같은 장점이 있습니다.

1. 불순물 오염이 매우 낮습니다. 

이들 재료는 운반된 웨이퍼와 동일한 화학 성분을 공유하므로 고온 공정 중에 원치 않는 불순물 이온을 최소화합니다.

2.뛰어난 열 안정성: 

변형되지 않고 장기간 고온 노출(약 1250°C)에도 정밀한 간격을 유지할 수 있어 웨이퍼를 위한 안정적인 지지 플랫폼을 제공합니다.

3.Excellent 기계적 성질: 

석영 보트보다 충격에 더 강하고 적재 및 하역 시 파손될 가능성이 적습니다.

4. 긴 서비스 수명: 

표면 코팅을 하지 않아 까다로운 고온 환경에 장시간 노출되어도 표면 소재가 벗겨지지 않습니다.

세미코렉스 실리콘카세트 보트4인치 및 6인치 수평형 고온로와 호환되는 소형 웨이퍼 지지대 및 이송 캐리어입니다. 통합 성형 구조 설계는 접합 틈과 접합부의 구조적 약점을 방지하여 기계적 충격, 화학적 부식 또는 열 응력으로 인한 균열 위험을 크게 줄입니다. 실리콘 카세트 보트는 Semicorex의 최첨단 가공 기술 덕분에 산화, 확산, 어닐링 및 고온 세척과 같은 고온 처리 절차에 잘 호환됩니다.

Semicorex 실리콘 카세트 보트는 홈 바 모양, 홈 톱니 길이, 프로파일, 틸트 각도 및 총 웨이퍼 적재 용량과 같은 측면을 포함하여 소중한 고객을 위한 고급 맞춤형 조정을 지원합니다. 이러한 맞춤형 설계는 웨이퍼가 실리콘 카세트 보트 내에서 고정된 간격으로 정밀하게 배열되도록 보장하여 처리 중 위치 편차와 고르지 못한 가열을 효과적으로 완화함으로써 칩 전기 성능의 손상이나 심지어 완전한 칩 고장을 방지합니다. 고객이 고품질 제품을 받을 수 있도록 Semicorex의 실리콘 카세트 보트는 치수 정확도, 재료 특성, 표면 평탄도, 전반적인 청결도 및 잔류 응력을 포함한 엄격한 품질 검사를 통과해야 합니다.