SiC 액슬 슬리브

Semicorex는 OEM 반도체 제조 도구 및 웨이퍼 처리 부품을 위한 반도체 등급 세라믹을 제공합니다. 우리는 수년 동안 실리콘 카바이드 코팅 필름의 제조 및 공급 업체였습니다. 우리의 SiC Axle Sleeve는 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

당사의 SiC Axle Sleeve는 내부식성이 우수하고 고온 및 열충격에 대한 내성이 뛰어납니다. 또한 높은 탄성 계수는 뛰어난 치수 안정성을 제공합니다. 또한 세라믹 재료의 다공성이 없고 기공 밀도가 낮습니다.

고객의 요구 사항에 따라 모든 종류의 SiC Axle Sleeve를 처리할 수 있습니다.

SiC 액슬 슬리브의 매개변수

기술 속성
색인	단위	값
재료명		반응 소결 실리콘 카바이드	압력이 없는 소결 실리콘 카바이드	재결정 실리콘 카바이드
구성		RBSiC	SSiC	R-SiC
부피 밀도	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
굴곡강도	MPa(kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
압축 강도	MPa(kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
경도	누프	2700	2800	/
끈기 깨기	MPa·m1/2	4.5	4	/
열 전도성	W/m.k	95	120	23
열팽창 계수	10^-6.1/°C	5	4	4.7
비열	줄/g 0k	0.8	0.67	/
공기 중 최대 온도	℃	1200	1500	1600
탄성계수	GPA	360	410	240

Semicorex는 SiC Axle Sleeve를 Reaction sintered silicon carbide(RBSiC), Pressureless sintered silicon carbide(SSiC) 및 Recrystal silicon carbide(R-SiC)의 세 가지 형태로 생산했습니다.

SSiC와 RBSiC의 차이점:

1. 소결 공정이 다릅니다. RBSiC는 저온에서 실리콘 카바이드에 자유 Si를 침투시키는 것으로, SSiC는 2100도에서 자연수축에 의해 형성된다.

2. SSiC는 더 매끄러운 표면, 더 높은 밀도 및 더 높은 강도를 가지고 있습니다. 더 엄격한 표면 요구 사항이 있는 일부 밀봉의 경우 SSiC가 더 좋습니다.

3. 다른 PH 및 온도에서 다른 사용 시간, SSiC는 RBSiC보다 깁니다.

SiC 액슬 슬리브의 특징

- 고강도(모스 경도 9.5, 다이아몬드 다음으로 높음)

- 산, 알칼리, 염 및 유기용제에 대한 내식성

- 높은 열전도율, 내플라즈마성, 긴 수명

- 반도체

실리콘 카바이드 세라믹스의 사용 가능한 모양

â 세라믹 막대/세라믹 핀/세라믹 플런저

â 세라믹 튜브 / 세라믹 부싱 / 세라믹 슬리브