Semicorex는 OEM 세미 제조 도구 및 웨이퍼 처리 구성 요소를 위한 반도체 등급 세라믹을 제공합니다. 우리는 수년 동안 탄화 규소 코팅 필름의 제조업체 및 공급 업체였습니다. 당사의 SiC 액슬 슬리브는 가격 이점이 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
당사의 SiC 액슬 슬리브는 부식에 대한 저항성이 우수하고 고온 및 열충격에 대한 저항성이 뛰어납니다. 또한 높은 탄성률로 인해 치수 안정성이 뛰어납니다. 또한, 세라믹 재료의 다공성이 0이고 기공 밀도가 낮습니다.
우리는 고객의 요구 사항에 따라 모든 종류의 SiC 액슬 슬리브를 가공할 수 있습니다.
SiC 액슬 슬리브의 매개변수
기술적 특성 |
||||
색인 |
단위 |
값 |
||
재료 이름 |
반응 소결 실리콘 카바이드 |
무압력 소결 실리콘 카바이드 |
재결정화된 탄화규소 |
|
구성 |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
벌크 밀도 |
g/cm3 |
3 |
3.15±0.03 |
2.60-2.70 |
굴곡강도 |
MPa(kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
압축강도 |
MPa(kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
경도 |
단추 |
2700 |
2800 |
/ |
파괴적인 끈기 |
MPa·m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
열전도율 |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
열팽창 계수 |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
비열 |
줄/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
공기 중 최대 온도 |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
탄성률 |
평점 |
360 |
410 |
240 |
세미코렉스는 반응 소결 탄화 규소(RBSiC), 무압력 소결 탄화 규소(SSiC), 재결정 탄화 규소(R-SiC)의 세 가지 형태로 SiC 액슬 슬리브를 생산했습니다.
SSiC와 RBSiC의 차이점:
1. 소결 과정이 다릅니다. RBSiC는 유리 Si를 저온에서 탄화규소에 침투시키는 것이며, SSiC는 2100도에서 자연수축에 의해 형성된다.
2. SSiC는 더 매끄러운 표면, 더 높은 밀도 및 더 높은 강도를 갖습니다. 표면 요구 사항이 더 엄격한 일부 씰링의 경우 SSiC가 더 좋습니다.
3. 다양한 PH와 온도에서 사용 시간이 다르므로 SSiC는 RBSiC보다 길다.
SiC 액슬 슬리브의 특징
- 고강도(모스 경도 9.5, 다이아몬드 다음으로 높은 강도)
- 산, 알칼리, 염분, 유기용제에 대한 내식성
- 높은 열전도율, 내플라즈마성, 긴 수명
- 반도체
탄화규소 세라믹의 사용 가능한 형태:
● 세라믹 로드 / 세라믹 핀 / 세라믹 플런저
● 세라믹 튜브 / 세라믹 부싱 / 세라믹 슬리브
● 세라믹 링 / 세라믹 와셔 / 세라믹 스페이서
● 세라믹 디스크
● 세라믹 플레이트 / 세라믹 블록
● 세라믹볼
● 세라믹 피스톤
● 세라믹 노즐
● 세라믹 도가니
● 기타 맞춤형 세라믹 부품