SIC 보트 홀더

Semicorex SIC 보트 홀더는 반도체 제조에서 고온 공정 동안 웨이퍼 보트를 유지하도록 설계된 정밀지지 장치입니다. 고순도 실리콘 카바이드 (SIC)로 만들어진 이들 홀더는 확산, 산화 및 에피 택셜 성장과 같은 공정에 사용될 때 우수한 열 안정성, 화학 저항 및 기계적 강성을 나타냅니다.

반도체 제조 환경을 요구하는 경우 웨이퍼 무결성을 보호하고 오염을 최소화하는 것이 중요합니다. SIC 보트 홀더는 변형없이 오염 물질의 방출없이 완전성을 유지하면서 극한의 용광로 환경을 견딜 수있는 견고한 불활성 플랫폼을 제공합니다. 그들의 화학적 불활성은 반응성 공정 가스와 함께 사용할 수있게하는 반면, 열 투과율은 일관된 가공을 위해 웨이퍼 표면의 가열을 촉진합니다.

각 SIC 보트 홀더는 치수 정확도에 대한 높은 공차로 제조되므로 모든 웨이퍼 보트 유형 및 자동화 하중 구성에 쉽게 수용하고 적응할 수 있습니다. 그들의 단단한 구조는 웨이퍼 보트에 대한 강력하고 안정적이며 적절한 지원을 제공 할뿐만 아니라 마이크로 바이브레이션 또는 위치 이동이 웨이퍼에 가질 수있는 기회를 줄입니다. 또한, 실리콘 카바이드는 우수한 내마모성을 가지며 반복적 인 열 사이클링을 처리하여 오랜 수명을 제공하여 가동 중지 시간이 거의없고 바이알 부품을 대체 할 수 있습니다.

실리콘 카바이드의 독특한 속성은 프로세스 청결과 관련하여 추가적인 이점을 제공 할 수 있습니다. 금속 또는 낮은 등급 세라믹 재료와 달리 SIC는 극한 온도 나 혈장에서 플레이크, 아웃 가스 또는 화학적으로 저하되지 않습니다. 이로 인해 SIC 보트 홀더는 높은 수율과 순도가 필요한 고급 반도체 노드의 클린 룸 오염을 제한하려는 제조업체에게 훌륭한 도구가됩니다.

Semicorex SIC 보트 홀더는 배치와 여러 보트 홀더 간의 균일 한 미세 구조 및 기계적 성능을 보장하는 독특한 성형 및 소결 공정을 사용하여 생산됩니다. 예를 들어, 홀더 모양 또는 슬롯 구성은 마운팅 유형뿐만 아니라 사용자 정의 할 수 있습니다.

수직 용광로 또는 수평 반응기에 사용 되든 Semicorex SIC 보드 홀더를 사용자 정의하면 차세대 반도체 제조의 공차가 충족됩니다. Semicorex 제품을 선택하는 경우, 지식이 풍부하고 물질적 우수성에 전념하는 공급 업체와 함께 일하며 신뢰성 및 전달과 관련하여 세라믹 구성 요소를 지속적으로 혁신하기 위해 노력한다는 것을 알게 될 것입니다.