SiC 보트

Semicorex SiC 보트는 탁월한 열 안정성, 뛰어난 기계적 강도 및 흔들리지 않는 화학적 불활성으로 유명한 소재인 고순도 SiC 세라믹으로 세심하게 제작되었습니다. 이러한 품질로 인해 반도체 제조의 엄격한 조건에 완벽한 선택이 됩니다.

SiC 보트는 소재의 경도와 탁월한 내마모성으로 인해 비교할 수 없는 기계적 강도와 내구성을 자랑합니다. 이를 통해 점진적인 마모에 굴복하지 않고 처리량이 많은 반도체 생산 환경의 까다로운 특성을 견딜 수 있습니다. 다른 재료와 달리 SiC는 시간이 지나도 구조적 무결성을 유지하여 빈번한 교체 필요성을 크게 줄이고 제조 작업의 가동 중지 시간을 최소화하여 궁극적으로 반도체 제조업체에 상당한 비용 절감 효과를 제공합니다.

SiC의 화학적 불활성은 반응성 가스와 일반적으로 사용되는 염소 및 불소와 같은 물질의 화학적 공격에 대한 저항성을 높여 반도체 공정에 대한 적합성을 더욱 강화합니다. 이러한 강력한 저항성은 SiC 보트가 처리 중에 웨이퍼를 오염시키지 않도록 하여 제조되는 반도체 장치의 순도와 품질을 유지합니다. 훨씬 더 높은 수준의 내화학성을 요구하는 공정의 경우 SiC 보트를 추가 SiC 층으로 코팅하여 화학적 공격에 대한 추가 장벽을 제공하고 보트 표면 마감을 높여 미립자 오염 위험을 줄일 수 있습니다.

반도체 제조에서는 불순물이 최소화된 재료가 요구되기 때문에 이러한 보트에 사용되는 SiC 세라믹의 고순도는 매우 중요합니다. 미량의 오염 물질이라도 웨이퍼의 전기적 특성을 손상시키고 최종 장치에 결함을 초래할 수 있습니다. SiC 보트는 초고순도 SiC 세라믹으로 설계되어 반도체 제조의 일반적인 고온 및 반응 조건에서도 공정 환경에 불순물이 유입되지 않도록 합니다. 이러한 순도는 중요한 공정 단계에서 SiC 보트의 신뢰성을 강화합니다.

SiC 보트는 다양한 반도체 장비와의 호환성이 무엇보다 중요합니다. SiC의 다용성은 다양한 유형의 반도체 용광로 및 반응기에 필요한 특정 치수 및 구성에 맞게 정밀하게 가공할 수 있어 소규모 연구 개발 작업부터 대규모 생산 라인에 이르기까지 광범위한 응용 분야에 적합합니다. 또한 이 소재의 뛰어난 열 전도성과 방열 특성은 가공 중 온도 제어를 더욱 효율적으로 하여 반도체 장치의 성능과 수율을 더욱 향상시킵니다.