SIC 캔틸레버 패들

Semicorex Sic 캔틸레버 패들은 반도체 열 처리 장비 (LPCVD, PECVD, 산화 및 확산 용광로)의 웨이퍼 처리 및 웨이퍼 운송을 위해 정확하게 설계된 고성능 구성 요소입니다. 이 캔틸레버 패들은 웨이퍼를위한 플랫폼과 필요한 형태의 지원을 제공하여 가혹한 고온 공정 (종종 1200 ° C를 초과)을 통해 취성 웨이퍼를 안정적이고 신뢰할 수있는 수송을 보장합니다. 캔틸레버 패들은 반도체 제조 환경에 대한 기계적 내구성, 열 안정성 및 항-조직 특성을 제공하는 고순도 실리콘 카바이드 (SIC)로 제조됩니다.

실리콘 카바이드는 우수한 열전도율, 낮은 열 팽창 및 화학적으로 적대적인 환경에서 안정적으로 수행하는 능력을 갖춘 슈퍼 프리미엄 세라믹 재료입니다. 캔틸레버 패들의 실리콘 탄화물

 그리고 웨이퍼를 평평하게 유지하고 공칭 처리 위치로 유지하는 움직임. 캔틸레버 패들의 맥락에서 웨이퍼의 열 안정성은 특히 고급 노드 장치를 생성 할 때 입자 오염 및 기계적 움직임 문제를 최소화하는 데 중요합니다. 이러한 문제로 인해 수율 손실 또는 값 비싼 재 작업 및 웨이퍼 교체가 발생할 수 있습니다.

SIC 캔틸레버 패들의 모 놀리 식 형태는 기계적 견고성과 열 균일 성을 향상시키면서 일반적으로 복합재에 존재할 수있는 관절과 약점을 제거합니다. 또한, 패들의 표면 마감은 구체적으로 제어되며, 일반적으로 입자상 생성을 최소화하기 위해 근처의 거울 품질로 연마되며 매우 깨끗한 룸 클래스를 준수합니다.

산소, 증기 및 기타 반응성 가스를 포함하는 확산 및 산화 공정에서; 기존의 재료는 시간이 지남에 따라 붕괴되거나 변형 될 수 있습니다. SIC의 고유 한 화학적 불활성 특성은 패들이 불안정한 재료의 사용으로 인해 공정에 대한 오염을 부식시키지 않도록 보장하여보다 안정적인 프로세스와 신뢰할 수있는 결과에 기여합니다.  SIC 캔틸레버 패들의 구조적 완전성은 가열 및 냉각의 빠른 순환에도 불구하고 안정적으로 유지됩니다. 따라서 유지 보수 또는 부품 교체 가동 중지 시간이 크게 줄어든 오랜 운영 서비스 수명을 제공합니다.

또한, SIC 패들의 질량 및 경량 감소는 더 빠른 열 응답을 허용한다; 따라서 생산성 및 에너지 효율 향상에 기여하는 더 빠른 열 램프 업 및 냉각 시간을 허용합니다. 반도체 제조의 경쟁 환경의 모든 주요 지표.

SIC 캔틸레버 패들은 다양한 용광로 설계 및 100mm ~ 300mm 이상의 웨이퍼 크기를 수용하도록 설계 및 제조 할 수있는 다양한 구성 및 크기로 공급할 수 있습니다. OEM 및 장비 통합자는 프론트 엔드 및 백엔드 프로세스 모두에 배치 할 때 시간이 지남에 따라 SIC 패들의 일관성과 신뢰성을 이해합니다.

Semicorex는 재료 순도, 미세 구조 및 치수 공차를 엄격하게 제어하여 프리미엄 SIC 캔틸레버 패들을 제공합니다. 우리의 고급 프로세스 기능은 반도체 열 역학에 대한 우리의 지식과 함께 안정성, 청결 및 내구성에 대한 업계 표준을 충족하거나 초과하는 이러한 속성으로 패들을 생성 할 수 있습니다. 그것이 옳고 신뢰할 수 있어야 할 때, Semicorex는 품질 SIC 구성 요소를 위해 갈 곳입니다.