SIC 세라믹 보트

Semicorex SIC 세라믹 보트는 가장 까다로운 화학적, 열적으로 극단적 인 환경에서 반도체 웨이퍼를 안전하게 운송, 저장 및 처리하도록 특별히 설계된 최첨단 캐리어입니다. 반도체 산업은 SIC 세라믹 보트가 신뢰할 수 있고 신뢰할 수 있고 오염이없는 새로운 성능 표준을 빠르게 채택했으며 현대 웨이퍼 제조 공정에 대한 불내증적이고 중요한 요구를 달성했습니다.

강한 열 안정성 및 강도

SIC 세라믹 보트의 정의 속성은 매우 높은 열 안정성입니다. SIC 세라믹 보트는 공격적인 열 사이클링 공정에서 모양이나 구조를 잃지 않고 1600 ° C를 초과하는 온도를 견딜 수 있습니다. 초 저 열 팽창 계수로 인해, SIC 세라믹 보트는 왜곡 및 균열이 덜되므로 뻣뻣한 조건 하에서 취급하는 동안 타이트한 공차와 전반적인 웨이퍼 안전이 가능합니다.

고순도 및 화학 저항

SIC 세라믹 보트는 매우 높은 순도 실리콘 카바이드로 제작됩니다. SIC 세라믹 보트는 또한 화학 분해, 부식성 및 침식 혈장에 매우 저항력이 있습니다. SIC 세라믹 보트의 불활성 특성은 부식성 가스, 반응성 환경, 산성 조건이 보트로부터의 오염이 없거나 작업 과정에 해를 끼치 지 않는 용해성을 형성하는 것을 의미합니다. SIC 세라믹 보트의 비-오염 표면은 입자 생성 또는 이온 침출을 가능하게하지 않으므로 웨이퍼 표면은 장치 성능이나 수율을 방해하는 불순물에 의해 위태롭지 않습니다.

안전하고 안전한 웨이퍼 처리를위한 정밀 엔지니어링

SIC 세라믹 보트는 단단한 공차 내에서 제조되므로 100mm, 150mm, 200mm, 300mm 등 다양한 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. SIC 보트의 구조 설계는 적절한 웨이퍼 랩핑 방향을 유지하고 다른 프로세스 또는 공구로 전송할 때 웨이퍼의 가장자리를 보호하기 위해 우수한 평탄도, 병렬 처리 및 균일 한 슬롯 크기를 제공합니다. 모든 SIC 보트는 도구 세트와 일치하거나 자동화 사양을 충족하도록 사용자 정의 치수로 설계 될 수 있습니다.

긴 수명과 더 많은 비용 효율성

SIC는 전통적인 재료 (Quartz, Alumina)를 기계적 강도, 골절 강인성 및 열 충격 저항으로 크게 개선했습니다. 이 내구성 수준은 "실패"이전에 더 긴 수명, 운영 중 대체물이 상당히 적고 총 소유 비용이 줄어 듭니다. SIC의 내구성으로 인한 성능의 일관성은 다운 타임을 줄이고 반도체 제조 라인의 처리량 속도를 높일 것입니다.

반도체 프로세스에서 응용 프로그램을 열어줍니다

SIC 세라믹 보트는 다음과 같은 프론트 엔드 반도체 프로세스에서 널리 사용됩니다.

LPCVD 및 PECVD 증착

열 산화

이온 임플란트

어닐링과 확산

웨이퍼 청소 및 화학 처리

SIC 세라믹 핸들은 대기 및 진공 공정 챔버 모두에서 호환 처리 된 처리 응용 프로그램을 갖추고있어 오염 위험을 최소화하고 생산성을 향상시키려는 파운드리 및 팹에게 이상적인 선택이됩니다.