SiC 세라믹 캔틸레버 패들

웨이퍼 로딩력이 큰 탄화규소 SiC 세라믹 캔틸레버 패들은 안정적인 성능, 고온에서도 변형되지 않고 웨이퍼 로딩력이 크기 때문에 로봇 자동 로딩 및 핸들링 시스템에 적합합니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

캔틸레버 패들의 단면이 변형 없이 안정적이기 때문에 기존의 퍼니스 튜브를 활용해 더 큰 사이즈의 웨이퍼 제작이 가능하다. SiC 세라믹 캔틸레버 패들은 LPCVD 코팅과 유사한 열팽창 계수를 기반으로 LPCVD에 적용할 수 있어 유지 관리 및 세척 주기가 크게 연장되고 오염 물질이 크게 감소합니다.

고객의 도면과 작업환경에 맞춰 제품을 생산해 드립니다.

특징:

큰 부하

낮은 열전도율

고온 저항