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SiC 세라믹 캔틸레버 패들
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SiC 세라믹 캔틸레버 패들

큰 웨이퍼 로딩 힘 실리콘 카바이드 SiC 세라믹 캔틸레버 패들은 안정적인 성능, 고온에서 변형되지 않고 큰 웨이퍼 로딩 힘을 가지고 있기 때문에 로봇 자동 로딩 및 핸들링 시스템에 적합합니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

캔틸레버 패들의 단면이 변형 없이 안정적이기 때문에 기존 퍼니스 튜브를 사용하여 더 큰 크기의 웨이퍼를 만드는 것이 가능합니다. SiC 세라믹 캔틸레버 패들은 LPCVD 코팅과 유사한 열팽창 계수를 기반으로 LPCVD에 적용할 수 있어 유지 관리 및 청소 주기를 크게 연장하고 오염 물질을 크게 줄입니다.

우리는 귀하의 도면과 작업 환경에 따라 제품을 생산할 수 있습니다.

 

특징:

큰 하중

낮은 열전도율

고온 저항





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