SIC 세라믹 캔틸레버 패들

세미코렉스SIC 세라믹 캔틸레버 패들웨이퍼 캐리어를 용광로 안팎으로 이동하는 데 중요한 구성 요소입니다. 이 제품은 광전지 및 반도체 제조 분야의 산화, 확산 및 LPCVD(저압 화학 기상 증착)로와 같은 열처리 장비에 널리 사용됩니다.

반응결합 탄화규소(RBSIC)의 우수한 기계적 강도, 열안정성, 고온 저항, 내산화성, 열충격 저항성 및 화학적 부식 저항성이 우수하여 대형 탄화규소 캔틸레버 패들 제조에 적합합니다.

세미코렉스SIC 세라믹캔틸레버 패들은 고품질 반응 결합 탄화규소(RBSiC) 소재의 고유한 기계적 강도와 강성으로부터 높은 하중 지지력을 얻습니다. 실리콘 웨이퍼의 무거운 하중을 견딜 수 있는 이 패들은 개별 확산 주기에 대한 처리량을 최적화하고 생산 효율성 향상에 도움을 줍니다.

반응 결합된 탄화규소의 탁월한 재료 특성으로 인해 SIC 세라믹 캔틸레버 패들은 고온 작동 환경에서 뛰어난 안정성을 가지며, 실리콘 웨이퍼와 퍼니스 튜브의 동심도를 보장하고 확산 및 패시베이션과 같은 공정을 더욱 균일하게 만듭니다. 이러한 안정성은 고온 및 무거운 하중으로 인해 발생하는 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들의 변형이나 손상을 효과적으로 방지하여 실리콘 웨이퍼 손상이나 장비 고장으로 인한 위험을 줄입니다.

Semicorex SiC 세라믹 캔틸레버 패들은 단일 부품 3D 프린팅 공정을 사용하며, 이는 부품의 치수 정확도와 모양 일관성을 유지하는 데 중요한 역할을 합니다. SiC 세라믹 캔틸레버 패들의 이러한 디자인은 확산로 시스템과의 원활한 호환성도 보장합니다. 견고한 캔틸레버 구조 덕분에 부드럽고 진동 없는 이송이 가능해 로딩 및 언로딩 시 웨이퍼 파손이나 이탈 가능성이 최소화됩니다.

Semicorex는 품질을 최우선으로 생각합니다. 완성된 모든 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들은 우수한 품질을 보장하기 위해 치수 정확도 검사, 재료 특성 평가를 포함한 여러 테스트 절차를 거쳐야 합니다. 구매에 필요한 사항이 있으시면 언제든지 문의해 주세요.