SiC 척

탁월한 열전도율, 고강도, 뛰어난 내마모성 및 화학적 부식 저항성으로 유명한 Semicorex SiC 척은 까다로운 환경에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계되었습니다.

SiC 척은 열을 효과적으로 발산하여 고온 공정 중에 안정적인 열 관리를 보장하며, 이는 반도체 웨이퍼의 무결성을 유지하는 데 중요합니다. 탄화규소의 고유한 견고성은 뛰어난 내구성을 제공하여 높은 응력 하에서 기계적 고장이나 변형의 위험을 줄여줍니다. 대부분의 화학 물질과 산에 내성이 있는 SiC 척은 가혹한 물질에 노출될 수 있는 환경에 적합하여 작동 수명을 연장합니다. 열팽창 계수가 낮은 SiC 척은 다양한 온도에서도 모양과 구조적 무결성을 유지하여 섬세한 웨이퍼를 고정밀하게 처리할 수 있습니다.

온도 제어와 내화학성이 중요한 화학 기상 증착(CVD) 및 물리 기상 증착(PVD)과 같은 공정에 광범위하게 사용됩니다.

Semicorex SiC 척은 우수한 특성이 제품 품질 향상, 운영 효율성 향상 및 유지 관리 비용 절감에 기여하는 고급 제조 부문에서 없어서는 안될 요소입니다.