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SiC 포커스 링

SiC 포커스 링

Semicorex 고급 고순도 SiC 초점 링은 플라즈마 에칭(또는 건식 에칭) 챔버의 극한 환경을 견디도록 제작되었습니다. 우리는 실리콘 카바이드 레이어 및 에피택시 반도체와 같은 반도체 산업에 중점을 둡니다. 우리의 제품은 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex는 SiC Focus Rings를 공급하여 RTA, RTP 또는 가혹한 화학 세척에 매우 안정적입니다. SiC Focus Ring 또는 edge ring은 웨이퍼 가장자리 또는 주변 주변의 에칭 균일성을 개선하도록 설계되었습니다. 혹독한 플라즈마 식각 공정을 위해 설계된 고순도 부품으로 오염과 예정되지 않은 유지보수를 최소화하십시오. SiC 코팅이 적용된 당사의 SiC 초점 링은 고밀도의 내마모성 실리콘 카바이드(SiC) 코팅입니다. 내식성 및 내열성이 우수하고 열전도율이 우수합니다. 우리는 화학 기상 증착(CVD) 공정을 사용하여 흑연 위에 SiC를 얇은 층으로 도포합니다.


SiC 포커스 링의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


SiC 포커스 링의 특징

- CVD 실리콘 카바이드 코팅으로 서비스 수명을 향상시킵니다.

- 고성능 정제 경질 탄소로 만든 단열재.

- 탄소/탄소 복합 히터 및 플레이트.- 흑연 기판과 실리콘 카바이드 층 모두 열전도율이 높고 열 분포 특성이 우수합니다.

- 고순도 흑연 및 SiC 코팅으로 핀홀 저항 및 수명 연장




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