SiC 발열체 히터 필라멘트 SiC 막대

Semicorex SiC 가열 요소 히터 필라멘트 SiC 로드는 반도체 웨이퍼의 취급 및 처리에 사용되는 특수 도구입니다. 이 중요한 장비는 고품질 반도체 소자 생산에 필요한 최적의 열 환경을 조성하는 데 중추적인 역할을 합니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

SiC 가열 요소 히터 필라멘트 SiC 로드는 반도체 제조 공정의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 세심하게 설계된 가열 기술의 정점을 나타냅니다. 이 혁신적인 발열체는 흑연의 뛰어난 열 특성과 탄화규소(SiC) 코팅의 고성능 특성을 결합하여 정확하고 효율적인 반도체 제조에 없어서는 안 될 도구입니다.

신청:

Semicorex SiC 가열 요소 히터 필라멘트 SiC 로드는 다양한 중요한 반도체 제조 공정에서 없어서는 안 될 유용성을 찾습니다.

화학 기상 증착(CVD): 복잡한 회로 패턴과 장치 구조를 만드는 데 필수적인 기판에 얇은 필름을 제어하여 증착할 수 있습니다.

어닐링 및 확산: 제어된 열 처리를 촉진하여 재료 특성을 향상시키고 반도체 기판 내에서 정밀한 도핑 프로파일을 생성합니다.

산화 및 에칭: 장치 분리, 상호 연결 형성 및 표면 수정에 필수적인 제어된 산화 및 에칭 프로세스를 지원합니다.

결정 성장: 에피택시 성장을 위한 이상적인 열 환경을 제공하여 결정 방향이 정의된 고품질 결정 층을 형성합니다.