SiC 반사경

Semicorex SiC 반사경은 뛰어난 열전도율, 높은 반사율, 비교할 수 없는 내구성으로 유명하여 반도체 산업에서 없어서는 안 될 제품입니다.

SiC 반사경은 반도체 제조 공정에서 빛과 열 에너지를 반사하도록 설계된 특수 광학 부품입니다. 탄화규소(SiC)는 실리콘과 탄소의 화합물로 뛰어난 물리적, 화학적 특성을 지닌 것으로 알려져 있습니다. SiC로 제작된 반사판은 극한의 조건을 견딜 수 있도록 설계되어 고온, 부식성 환경 및 고에너지 광자가 존재하는 응용 분야에 이상적입니다.

SiC 반사판의 가장 중요한 장점 중 하나는 뛰어난 열 전도성입니다. SiC 소재는 산화알루미늄(Al2O3)이나 석영과 같은 기존 소재보다 열전도율이 몇 배 더 높습니다. 이러한 특성은 효율적인 열 방출을 가능하게 하여 과열을 방지하고 고온 조건에서도 안정적인 성능을 보장합니다.

SiC 반사체는 특히 자외선(UV) 및 적외선(IR) 스펙트럼에서 탁월한 반사율을 나타냅니다. 이러한 높은 반사율은 최대량의 빛이 대상 영역으로 방향을 바꾸도록 보장하여 포토리소그래피, 급속 열 처리(RTP), 화학 기상 증착(CVD)과 같은 반도체 공정의 효율성을 향상시킵니다.

실리콘 카바이드는 경도와 마모에 대한 저항성으로 유명합니다. SiC 반사경은 내구성이 뛰어나고 기계적 응력을 견딜 수 있으며 화학적 부식에 강합니다. 이러한 내구성은 수명 연장으로 이어져 교체 및 유지 관리 빈도를 줄이고 궁극적으로 총 소유 비용을 낮춥니다.