SIC 로봇 손

Semicorex Sic Robot Hands는 반도체 제조 분야의 로봇 웨이퍼 전송 응용 프로그램을 위해 설계된 최신 엔드 효과입니다. 고성능 재료로 만들어진 우리는이 로봇 손을 실리콘 카바이드 (SIC) 도자기로 설계하여 점점 더 가혹한 웨이퍼 제조 또는 취급 환경을 위해 최대 열 표 테이블, 화학적 안정성 및 기계적 강도를 제공합니다.

우리의 SIC 로봇 손의 중심은 우리의 독점 고급입니다.실리콘 카바이드높은 경도 (MOHS 9), 높은 열전도율 및 부식 저항으로 유명합니다. 알루미늄 또는 스테인리스 스틸과 같은 전통적인 재료와 달리 SIC는 가공 된 고온 및 반응성 가스를 포함한 반도체 클리닝 룸의 가혹한 가공 환경과 호환됩니다. 우리는 장기 내구성을 제공하고 웨이퍼 제조에 필요한 엄격한 순도와 일치하는 오염을 최소화합니다.

SIC 로봇 핸즈가있는 반도체 장비는 음압 흡입을 사용하여 웨이퍼를 얻습니다. 즉, 반도체 웨이퍼는 각각 흡입 컵 원리를 사용하여 석영 또는 세라믹 핑거에 흡착 된 다음 기계적 액션 암 확장, 회전 및 리프팅 모션을 사용하여 각각 운송됩니다.

"고속"및 "청결"은 반도체 웨이퍼 처리 장비의 핵심 특성입니다. 이러한 특성을 충족시키기 위해 장비는 사용 된 구성 요소의 성능에 대해 매우 엄격한 요구 사항을 가지고 있습니다. 대부분의 공정은 진공, 고온 및 부식성 가스 환경에서 수행되기 때문에 장비에 사용 된 취급 암에는 높은 기계적 강도, 부식성, 고온 저항, 내마모성, 단열성, 단열 등 및 고급 세라믹 재료와 같은 훌륭한 물리적 특성이 있어야합니다.

실리콘 카바이드 세라믹조밀 한 질감, 높은 경도, 높은 내마모성 및 우수한 내열성, 우수한 기계적 강도, 고온 환경에서의 좋은 단열재, 부식성이 우수한 단열재 및 기타 물리적 특성의 물리적 특성을 갖습니다. 반도체 장비를 처리하는 데 훌륭한 재료입니다.

로봇 플랫폼이 팹 및 공구 제조업체마다 다르다는 것을 인식하는 SIC 로봇 핸드는 다양한 표준 크기로 제공되며 고유 한 도구 구성을 위해 사용자 정의 할 수 있습니다. 장착 인터페이스, 손가락 형상 및 웨이퍼지지 기능은 특정 장비 및 공정 요구 사항을 충족하도록 조정할 수 있습니다. 클러스터 도구, 진공 챔버 또는 Foup 시스템 내에서 웨이퍼를 전송하든, 로봇 손은 주요 로봇 브랜드와 완벽하게 통합됩니다.

모든 SIC 로봇 손은 클래스 1 클리닝 룸 표준을 준수하기 위해 엄격한 청소, 검사 및 포장 절차를 겪습니다. 비 다공성, 항 정적 표면은 입자 접착력을 감소시키는 반면, 강력한 구조는 미세 생성에 저항하여 시간이 지남에 따라 입자 생성을 초래할 수 있습니다. 이로 인해 약간의 오염조차도 장치 고장으로 이어질 수있는 프론트 엔드 웨이퍼 프로세스에 이상적입니다.

에피 택시 및 이온 주입에서 PVD, CVD 및 CMP에 이르기까지 SIC 로봇 손은 반도체 장치 제조의 모든 단계에서 신뢰됩니다. 열 충격 및 플라즈마 환경에 대한 우수한 저항으로 인해 고급 논리 및 전력 반도체 라인, 특히 SIC 웨이퍼 기판이 사용되는 경우에 필수 불가결합니다.