SiC 웨이퍼 보트

실리콘 카바이드(SiC) 세라믹으로 제작된 Semicorex SiC 웨이퍼 보트는 고온 환경에서 비교할 수 없는 성능을 제공함으로써 반도체 산업의 요구 사항을 충족하는 데 앞장서고 있습니다. 반도체 산업이 미세 가공의 한계를 끊임없이 확장함에 따라 탄력 있고 견고한 재료에 대한 수요가 가장 중요해졌습니다.

SiC 웨이퍼 보트는 확산, 산화, 화학 기상 증착(CVD)과 같은 열 공정 중에 여러 웨이퍼를 고정하고 지지하는 데 중요한 역할을 합니다. 이러한 공정에는 제어된 분위기에서 웨이퍼를 극도로 높은 온도, 종종 1000°C를 초과하는 온도에 노출시키는 작업이 포함됩니다. 이러한 열처리의 균일성과 일관성은 제조되는 반도체 장치의 품질과 성능을 보장하는 데 중요합니다. SiC 웨이퍼 보트는 변형이나 열화 없이 높은 온도를 견딜 수 있어 웨이퍼가 균일하게 처리되어 우수한 장치 수율과 성능을 보장합니다.

SiC 웨이퍼 보트의 탁월한 열 전도성은 모든 웨이퍼에 균일한 열 분포를 보장하여 반도체 장치의 결함으로 이어질 수 있는 온도 구배의 위험을 최소화합니다. 또한 SiC의 낮은 열팽창계수(CTE)는 가열 및 냉각 주기 동안 열팽창 및 수축을 최소화합니다. 이러한 안정성은 특히 장치 기하학적 구조가 축소되는 경우 웨이퍼에 대한 기계적 응력과 잠재적인 손상을 방지하는 데 중요합니다.

열 공정 중에 웨이퍼는 SiC 웨이퍼 보트의 재료와 상호 작용할 수 있는 다양한 반응성 가스에 노출됩니다. SiC의 우수한 내화학성은 이러한 가스와 반응하지 않도록 하여 오염을 방지하고 웨이퍼의 순도를 보장합니다. 이는 미량의 오염이라도 결함을 일으키고 장치 신뢰성을 저하시킬 수 있는 고급 반도체 장치 생산에 특히 중요합니다.