SiC 웨이퍼 홀더

SiC 웨이퍼 홀더

Semicorex SiC(실리콘 카바이드) SiC 웨이퍼 홀더(웨이퍼 척 또는 웨이퍼 캐리어라고도 함)는 반도체 웨이퍼의 취급 및 처리에 사용되는 특수 도구입니다. 다양한 제조 단계에서 섬세한 실리콘 카바이드 웨이퍼를 안전하게 고정하고 보호하도록 설계되었습니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex SiC 웨이퍼 홀더는 고순도 탄화규소로 제작되어 열적 안정성, 기계적 강도, 내약품성이 우수합니다. 이러한 재료는 오염을 최소화하고 웨이퍼 손상을 방지하며 반도체 공정의 까다로운 조건을 견딜 수 있도록 선택됩니다.

어닐링 또는 확산과 같은 열 공정 중에 SiC 웨이퍼 홀더는 웨이퍼 표면 전체에 균일한 온도 분포를 유지하는 데 중요한 역할을 합니다. 열전도율이 높기 때문에 효율적인 열 전달이 가능하여 열 구배를 최소화하고 일관된 공정 결과를 보장합니다.

SiC 웨이퍼 홀더는 종종 응용 분야에 따라 몇 인치에서 더 큰 직경에 이르는 특정 웨이퍼 크기를 수용하도록 설계됩니다. 일괄 처리를 용이하게 하고 처리량을 늘리기 위해 카세트 또는 캐리어에 배열된 여러 홀더를 특징으로 할 수 있습니다.

Semicorex SiC 웨이퍼 홀더는 다양한 공정 단계에서 실리콘 카바이드 웨이퍼를 위한 안전하고 안정적인 플랫폼을 제공하는 반도체 제조의 중요한 도구입니다. 그 설계 및 재료 구성은 웨이퍼의 무결성을 보장하고 균일한 온도 분포를 용이하게 하며 효율적인 웨이퍼 취급 및 처리를 가능하게 합니다.




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