SiC 웨이퍼 홀더

Semicorex SiC 웨이퍼 홀더는 고순도 탄화규소로 제작되어 열적 안정성, 기계적 강도, 내약품성이 우수합니다. 이러한 재료는 오염을 최소화하고 웨이퍼 손상을 방지하며 반도체 공정의 까다로운 조건을 견딜 수 있도록 선택됩니다.

어닐링 또는 확산과 같은 열 공정 중에 SiC 웨이퍼 홀더는 웨이퍼 표면 전체에 균일한 온도 분포를 유지하는 데 중요한 역할을 합니다. 열전도율이 높기 때문에 효율적인 열 전달이 가능하여 열 구배를 최소화하고 일관된 공정 결과를 보장합니다.

SiC 웨이퍼 홀더는 종종 응용 분야에 따라 몇 인치에서 더 큰 직경에 이르는 특정 웨이퍼 크기를 수용하도록 설계됩니다. 일괄 처리를 용이하게 하고 처리량을 늘리기 위해 카세트 또는 캐리어에 배열된 여러 홀더를 특징으로 할 수 있습니다.

Semicorex SiC 웨이퍼 홀더는 다양한 공정 단계에서 실리콘 카바이드 웨이퍼를 위한 안전하고 안정적인 플랫폼을 제공하는 반도체 제조의 중요한 도구입니다. 그 설계 및 재료 구성은 웨이퍼의 무결성을 보장하고 균일한 온도 분포를 용이하게 하며 효율적인 웨이퍼 취급 및 처리를 가능하게 합니다.