SiC 웨이퍼 홀더

Semicorex SiC 웨이퍼 홀더는 고순도 탄화규소로 만들어져 열 안정성, 기계적 강도, 내화학성이 뛰어납니다. 이러한 재료는 오염을 최소화하고, 웨이퍼 손상을 방지하며, 까다로운 반도체 처리 조건을 견딜 수 있도록 선택되었습니다.

어닐링이나 확산과 같은 열 공정 중에 SiC 웨이퍼 홀더는 웨이퍼 표면 전체에 균일한 온도 분포를 유지하는 데 중요한 역할을 합니다. 열 전도성이 높기 때문에 효율적인 열 전달이 가능하고 열 구배를 최소화하며 일관된 공정 결과를 보장합니다.

SiC 웨이퍼 홀더는 응용 분야에 따라 몇 인치부터 더 큰 직경까지 특정 웨이퍼 크기를 수용하도록 설계되는 경우가 많습니다. 일괄 처리를 용이하게 하고 처리량을 증가시키기 위해 카세트나 캐리어에 배열된 여러 홀더를 특징으로 할 수 있습니다.

Semicorex SiC 웨이퍼 홀더는 반도체 제조의 중요한 도구로, 다양한 처리 단계에서 탄화규소 웨이퍼를 위한 안전하고 안정적인 플랫폼을 제공합니다. 그 디자인과 재료 구성은 웨이퍼의 무결성을 보장하고 균일한 온도 분포를 촉진하며 효율적인 웨이퍼 취급 및 처리를 가능하게 합니다.