SiC 웨이퍼 검사 척

Semicorex SiC 웨이퍼 검사 척은 반도체 웨이퍼 처리 및 검사 공정을 혁신하여 기존 재료에 비해 비교할 수 없는 성능과 신뢰성을 제공합니다. 주요 장점을 자세히 살펴보겠습니다.

1. 향상된 내구성과 수명:

SiC의 탁월한 경도와 화학적 불활성은 뛰어난 내구성과 수명으로 이어집니다. 이러한 SiC 웨이퍼 검사 척은 반복되는 웨이퍼 취급의 혹독함을 견디고, 섬세한 웨이퍼 가장자리와의 접촉으로 인한 긁힘 및 치핑을 방지하며, 반도체 처리 중에 자주 접하는 가혹한 화학적 환경에서도 구조적 무결성을 유지합니다. 이렇게 연장된 수명은 교체 비용을 줄이고 생산 중단 시간을 최소화합니다.

2. 타협할 수 없는 치수 안정성:

정확한 검사와 높은 수율 제조를 위해서는 정밀한 웨이퍼 포지셔닝을 유지하는 것이 무엇보다 중요합니다. SiC 웨이퍼 검사 척은 넓은 온도 범위에서 무시할 수 있는 열팽창 및 수축을 나타내므로 고온 공정 중에도 일관된 치수 안정성을 보장합니다. 이러한 안정성은 반복 가능하고 신뢰할 수 있는 검사 결과를 보장하여 더욱 엄격한 공정 제어와 향상된 장치 성능에 기여합니다.

3. 우수한 웨이퍼 접촉을 위한 초평탄도 및 매끄러움:

SiC 웨이퍼 검사 척은 놀라울 정도로 엄격한 공차로 제조되어 최적의 웨이퍼 접촉에 중요한 매우 평평하고 매끄러운 표면을 달성합니다. 이는 취급 중 웨이퍼 응력과 왜곡을 최소화하여 잠재적인 결함과 수율 손실을 방지합니다. 또한, 매끄러운 표면은 파티클 발생 및 포착을 줄여 보다 깨끗한 공정 환경을 보장하고 웨이퍼 표면으로 전달되는 결함을 최소화합니다.

4. 안전하고 안정적인 진공 유지:

SiC 웨이퍼 검사 척은 검사 및 처리 중에 웨이퍼를 안전하고 안정적으로 진공 상태로 유지하는 데 도움을 줍니다. 재료의 고유한 다공성은 척 표면 전체에 균일한 진공 채널을 생성하도록 정밀하게 설계되어 일관된 웨이퍼 평면성과 미끄러짐 없는 안전한 고정을 보장합니다. 이 안전한 고정은 고정밀 검사 및 처리에 중요하며 움직임으로 인한 오류 및 결함을 방지합니다.

5. 뒷면 파티클 오염 최소화:

뒷면 입자 오염은 웨이퍼 수율과 장치 성능에 심각한 위협이 됩니다. SiC 웨이퍼 검사 척은 전략적으로 배치된 진공 구멍이나 홈을 특징으로 하는 낮은 표면 접촉 설계를 통합하는 경우가 많습니다. 이는 척과 웨이퍼 뒷면 사이의 접촉 면적을 최소화하여 파티클 생성 및 전달 위험을 크게 줄입니다.

6. 향상된 처리 및 처리량을 위한 경량 설계:

탁월한 강성과 강도에도 불구하고 SiC 웨이퍼 검사 척은 놀라울 정도로 가볍습니다. 이렇게 감소된 질량은 더 빠른 스테이지 가속 및 감속으로 이어져 더 빠른 웨이퍼 인덱싱을 가능하게 하고 전체 처리량을 향상시킵니다. 또한 경량 척은 로봇 핸들링 시스템의 마모를 최소화하여 유지 관리 요구 사항을 더욱 줄여줍니다.

7. 작동 수명 연장을 위한 극도의 내마모성:

SiC의 탁월한 경도와 내마모성은 이러한 중요 부품의 작동 수명을 연장합니다. 반복적인 웨이퍼 접촉으로 인한 마모를 방지하고 가혹한 세척 화학 물질을 견디며 오랜 기간 동안 표면 무결성과 성능을 유지합니다. 이러한 수명은 유지 관리 감소, 소유 비용 절감 및 전반적인 생산성 향상으로 이어집니다.