실리콘 카바이드 보트

반음 실리콘 카바이드 보트는 뛰어난 열 안정성을 나타내며 산화 및 확산 공정에 필요한 극한 온도를 견딜 수 있습니다. 그들의 우수한 열 충격 저항은 균열 또는 변형의 위험을 최소화하여 장기간의 작동 장수를 보장합니다. 고밀도 SIC 조성물은 연속 열 사이클링에서도 구조적 무결성을 유지하는 우수한 기계적 강도를 제공합니다. 기계적 응력에 대한이 탁월한 저항은 웨이퍼 오염 및 파손 가능성을 줄여서 공정 수율이 높아집니다. 또한, SIC 보트는 뛰어난 화학 저항성을 가지고 있으며, 산화 및 확산 단계에 사용되는 공격적인 공정 가스에 대한 불활성을 유지합니다. 이 특성은 웨이퍼 순도 및 생산 효율을 손상시킬 수있는 원치 않는 반응을 방지합니다.

실리콘 카바이드 보트는 주로 산화 및 확산 용광로에 사용되며, 여기서 고온 및 반응성 가스에 대한 웨이퍼 노출을 정확하게 제어하는 ​​것이 필수적입니다. 이들은 열 산화 동안 웨이퍼를지지하여 고품질 이산화물 층을 성장시키고 도펀트 가스에 대한 제어 노출을 통해 균일 한 도핑을 촉진합니다. 또한, 장기간 열 노출이 필요한 어닐링 및 기타 고온 처리를위한 안정적인 플랫폼을 제공합니다.

전통적인 석영 및 흑연 보트와 비교하여 실리콘 카바이드 보트는 타의 추종을 불허하는 내구성, 장수 및 성능을 제공합니다. 오염을 최소화하면서 가혹한 열 및 화학 환경을 견딜 수있는 능력은 고정밀 반도체 제조에 선호되는 선택입니다. 품질과 혁신에 중점을 둔 실리콘 카바이드 보트는 탁월한 성능을 제공하여 전 세계적으로 반도체 제조업체를위한 높은 수율과 효율적인 웨이퍼 처리를 보장합니다. 고급 노드 기술이든 레거시 반도체 제조의 경우,이 보트는 엄격한 산업 요구 사항을 충족시키기위한 안정적인 솔루션을 제공합니다.

(1) 운반 및 보호 : 실리콘 카바이드 보트는 내부 브래킷 또는 슬롯을 통한 웨이퍼와 같은 반도체 재료를 가지고 있으며 실리콘 카바이드 재료의 고온 및 부식성을 사용하여 외부 환경으로부터 웨이퍼를 보호합니다.

(2) 균일 한 가열 : 실리콘 카바이드 보트는 열처리 과정에서 내부 웨이퍼를 골고루 가열 할 수있게한다. 이를 통해 열처리 공정 동안 웨이퍼의 각 부분의 온도 및 반응 속도가 일관성을 유지하여 웨이퍼의 수율 및 품질을 향상시킵니다.

현재 세 가지 주요 유형이 있습니다실리콘 카바이드 세라믹재료 : 반응 소결, 압력이없는 소결 및 재결정 소결. 대부분의 응용 분야에서 반응 소결 실리콘 카바이드는보다 적합하고 비용 효율적인 제품입니다. 재결정 화 된 SIC 보트는 일반적으로 소결을하고 여러 단위 부품을 먼저 처리 한 다음 SI 페이스트를 사용하여 부품을 고온에서 보트에 결합하고 마지막으로 CVD Sic 코팅 (약 100um)을 적용합니다. 재결정화는 다공성이므로 SIC 코팅이 없으면 반도체 공정에 부분적으로 도입됩니다. CVD-SIC 코팅이 장착 된 이러한 유형의 재결정 화 된 SIC 보트는 제조 공정이 가장 길며 매우 비쌉니다. SIC 코팅 된 흑연 보트와 비교하여, CVD-SIC 코팅 재결정 화 된 SIC 보트는 CTE 불일치 문제가 없다.