차세대 리소그래피 및 웨이퍼 처리 응용 분야에 완벽한 Semicorex 초순수 실리콘 카바이드 부싱은 오염을 최소화하고 매우 긴 수명 성능을 제공합니다. 당사의 제품은 가격 경쟁력이 뛰어나며 유럽 및 미국 시장의 많은 부분을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
Semicorex 초편평 탄화규소 부싱은 고순도 소결 탄화규소로 내열성과 내식성이 뛰어나고 고온 및 부식성 작업 상황을 포함한 극한 환경에서 안정성이 뛰어납니다.
Semicorex에서는 고품질의 비용 효율적인 실리콘 카바이드 부싱 제공에 중점을 두고 고객 만족을 최우선으로 하며 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 우리는 고품질 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
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실리콘 카바이드 부싱의 매개변수
기술적 특성 |
||||
색인 |
단위 |
값 |
||
재료 이름 |
반응 소결 실리콘 카바이드 |
무압력 소결 실리콘 카바이드 |
재결정화된 탄화규소 |
|
구성 |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
벌크 밀도 |
g/cm3 |
3 |
3.15±0.03 |
2.60-2.70 |
굴곡강도 |
MPa(kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
압축강도 |
MPa(kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
경도 |
단추 |
2700 |
2800 |
/ |
파괴적인 끈기 |
MPa·m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
열전도율 |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
열팽창 계수 |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
비열 |
줄/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
공기 중 최대 온도 |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
탄성률 |
평점 |
360 |
410 |
240 |
SSiC와 RBSiC의 차이점:
1. 소결 과정이 다릅니다. RBSiC는 유리 Si를 저온에서 탄화규소에 침투시키는 것이며, SSiC는 2100도에서 자연수축에 의해 형성된다.
2. SSiC는 더 매끄러운 표면, 더 높은 밀도 및 더 높은 강도를 갖습니다. 표면 요구 사항이 더 엄격한 일부 씰링의 경우 SSiC가 더 좋습니다.
3. 다양한 PH와 온도에서 사용 시간이 다르므로 SSiC는 RBSiC보다 길다.
실리콘 카바이드 부싱의 특징
고순도 SiC 코팅 흑연
우수한 내열성 및 열 균일성
매끄러운 표면을 위해 코팅된 미세 SiC 크리스탈
화학적 세척에 대한 높은 내구성
크랙 및 박리가 발생하지 않도록 재질을 설계하였습니다.
탄화규소 세라믹의 사용 가능한 형태:
● 세라믹 로드 / 세라믹 핀 / 세라믹 플런저
● 세라믹 튜브 / 세라믹 부싱 / 세라믹 슬리브
● 세라믹 링 / 세라믹 와셔 / 세라믹 스페이서
● 세라믹 디스크
● 세라믹 플레이트 / 세라믹 블록
● 세라믹 볼
● 세라믹 피스톤
● 세라믹 노즐
● 세라믹 도가니
● 기타 맞춤형 세라믹 부품