실리콘 카바이드 카세트 보트

세미코렉스탄화규소 카세트 보트안정적인 고강도 구조로 여러 개의 반도체 웨이퍼를 안전하고 정밀하게 고정, 이송, 취급하는 필수 운반 부품입니다. 이는 일관된 처리 결과를 위해 최적화된 열 및 가스 흐름 분포를 보장하기 위해 다양한 고온 반도체 공정에서 널리 사용됩니다.

엄선된 원료

반도체급 탄화규소 분말을 고온 소결을 통해 정밀하게 제작한 Semicorex 탄화규소 카세트 보트는 다음과 같은 우수한 특성을 가지고 있습니다.

1.초고순도:기판의 불순물 함량은 100PPM 이하로 관리되며, 불순물 수준은CVD 실리콘 카바이드코팅은 1PPM 미만에 도달할 수 있습니다.

2. 안정적인 내식성 :탄화규소 세라믹은 강력한 내식성을 제공하며 대부분의 산(예: 염산, 황산, 불화수소산), 알칼리(예: 가성소다), 용제 및 산화 매체에 대한 부식에 강합니다.

3.뛰어난 열 관리 용량:뛰어난 내열성과 낮은 열팽창 계수를 갖춘 탄화규소 카세트 보트는 1250°C 정도의 고온에서 장기간 작동 조건에 노출되어도 화학적 특성과 기계적 강도를 유지할 수 있습니다.

정밀하게 설계된 구조

1. 수평 프레임 구조:Semicorex 탄화규소 카세트 보트의 수평 프레임 구조는 수평 고온 퍼니스 튜브에 완벽하게 맞습니다.

2. 균일한 간격의 슬롯 노치:균일한 간격의 수많은 슬롯 노치가 특징인 Semicorex 탄화 규소 카세트 보트는 웨이퍼를 제자리에 단단히 고정할 수 있어 웨이퍼 변위로 인한 원치 않는 긁힘, 마모 및 손상을 크게 방지하여 반도체 공정 안정성과 웨이퍼 수율을 효과적으로 보장합니다.

3. 다중 슬롯 디자인:여러 개의 웨이퍼를 운반하도록 설계된 여러 슬롯을 통해 Semicorex 탄화규소 카세트 보트는 단일 배치 처리 처리량과 전반적인 생산 효율성을 향상시킬 수 있습니다.

4. 개방형 아키텍처:Semicorex 탄화규소 카세트 보트에는 사려 깊은 개방형 아키텍처가 장착되어 있어 균일한 가스 분포와 충분한 반응 접촉을 달성하여 일관되지 않은 공정 결과를 효과적으로 최소화할 수 있습니다.