Semicorex는 수직/열 및 수평 구성 모두를 위한 웨이퍼 보트, 받침대 및 맞춤형 웨이퍼 캐리어를 제공합니다. 우리는 수년 동안 실리콘 카바이드 코팅 필름의 제조 및 공급 업체였습니다. 당사의 실리콘 카바이드 세라믹 웨이퍼 보트는 가격 우위가 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
Semicorex 실리콘 카바이드 세라믹 웨이퍼 보트, 반도체 제조에서 웨이퍼 취급 및 보호를 위한 궁극적인 솔루션.
당사의 탄화 규소 세라믹 웨이퍼 보트는 CVD 방법을 사용하여 탄화 규소 (SiC) 층으로 코팅 된 고품질 재료로 만들어지며 내식성이 우수하고 고온 및 열충격에 대한 내성이 우수합니다. 고급 세라믹은 뛰어난 내열성과 플라즈마 내구성을 제공하는 동시에 고용량 웨이퍼 캐리어의 입자와 오염 물질을 완화합니다.
실리콘 카바이드 세라믹 웨이퍼 보트의 매개변수
기술 속성 |
||||
색인 |
단위 |
값 |
||
재료명 |
반응 소결 실리콘 카바이드 |
압력이 없는 소결 실리콘 카바이드 |
재결정 실리콘 카바이드 |
|
구성 |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
부피 밀도 |
g/cm3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60-2.70 |
굴곡강도 |
MPa(kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
압축 강도 |
MPa(kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
경도 |
누프 |
2700 |
2800 |
/ |
끈기 깨기 |
MPa·m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
열 전도성 |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
열팽창 계수 |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
비열 |
줄/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
공기 중 최대 온도 |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
탄성계수 |
GPA |
360 |
410 |
240 |
SSiC와 RBSiC의 차이점:
1. 소결 공정이 다릅니다. RBSiC는 저온에서 탄화규소에 자유 Si를 침투시키는 것으로, SSiC는 2100도에서 자연수축에 의해 형성된다.
2. SSiC는 더 매끄러운 표면, 더 높은 밀도 및 더 높은 강도를 가지고 있습니다. 더 엄격한 표면 요구 사항이 있는 일부 밀봉의 경우 SSiC가 더 좋습니다.
3. 다른 PH 및 온도에서 다른 사용 시간, SSiC는 RBSiC보다 깁니다.
실리콘 카바이드 세라믹 웨이퍼 보트의 특징
우수한 내열성 및 열 균일성
매끄러운 표면을 위해 코팅된 미세 SiC 크리스탈
화학 세정에 대한 높은 내구성
균열 및 박리가 발생하지 않도록 재료가 설계되었습니다.