실리콘 카바이드 세라믹 웨이퍼 보트

프리미엄 소재 선택

Semicorex 탄화규소 세라믹의 우수한 특성웨이퍼 보트고품질의 원자재 덕분입니다. 반도체급 SiSiC 소재로 제작되고 CVD SiC 코팅으로 코팅된 실리콘 카바이드 세라믹 웨이퍼 보트는 다음과 같은 우수한 특성을 나타냅니다.

1. 금속 불순물이 방출되지 않는 초고순도

기질 불순물: <100ppm

CVD SiC 코팅 불순물: <1ppm

2.우수한 열안정성

실리콘 카바이드 세라믹 웨이퍼 보트는 1250℃ 고온 조건에서 안정적으로 작동할 수 있으며 최소한의 변형과 크리프 저항을 제공합니다.

3. 높은 기계적 강도

탄화규소높은 경도와 내마모성을 보유하여 Semicorex 탄화 규소 세라믹 웨이퍼 보트가 긁힘, 마모 및 손상에 저항할 수 있어 장기간 작동 중에도 우수한 성능을 발휘하고 손상에 강합니다.

4. 탁월한 내식성

탄화규소는 강산과 알칼리로 인한 부식에 강하기 때문에 Semicorex 탄화규소 세라믹 웨이퍼 보트는 부식성이 높은 작업 조건에서도 구조적 무결성과 기능적 성능을 유지할 수 있습니다.

최적화된 구조 설계

Semicorex 탄화규소 세라믹 웨이퍼 보트는 배치 웨이퍼 처리용으로 설계되었으며 최적화된 구조 프레임워크는 안정적인 배치 웨이퍼 지원과 각 웨이퍼에 대한 일관된 공정 안정성을 보장합니다.

1.3포스트 수직 지지 구조

Semicorex 탄화규소 세라믹 웨이퍼 보트의 수직 구조를 통해 수직형 용광로 응용 분야에 완벽하게 일치할 수 있습니다. 이러한 구조를 통해 emicorex 탄화규소 세라믹 웨이퍼 보트는 공정 가스의 균일한 순환과 고온로 내에서 열 에너지의 균일한 분포를 촉진할 수 있습니다.

2. 균일하게 분포된 슬롯 핀치

Semicorex 탄화규소 세라믹 웨이퍼 보트에는 지지대에 여러 개의 정밀 가공 슬롯 핀치가 장착되어 있습니다. 균등하게 배치된 슬롯 핀치는 적절한 슬롯 간격을 달성하여 탄화 규소 세라믹 웨이퍼 보트가 반도체 웨이퍼를 단단히 고정할 수 있게 하여 웨이퍼 열 처리 결과의 일관성을 향상시키는 데 기여합니다.

우수한 성능과 기능을 갖춘 Semicorex 탄화규소 세라믹 웨이퍼 보트는 산화, 확산, 이온 주입, 고온 어닐링 등 반도체 웨이퍼 제조의 핵심 공정에 널리 사용됩니다.