실리콘 카바이드 프로세스 튜브

Semicorex 탄화규소 공정 튜브는 반도체 제조 영역에서 중요한 구성 요소로, RTP, 확산과 같은 다양한 반도체 공정 응용 분야에 사용되는 수직형 용광로에 사용하도록 특별히 설계되었습니다. 이 특수 튜브는 중요한 제조 공정을 거치는 동안 반도체 웨이퍼의 제어되고 정밀한 열처리를 촉진하는 데 중추적인 역할을 합니다.

고순도 탄화규소로 제작된 이 탄화규소 가공 튜브는 뛰어난 열 전도성, 극한 온도에 대한 저항성, 뛰어난 기계적 강도를 나타냅니다. 고유한 재료 특성으로 인해 반도체 공정에서 일반적으로 발생하는 높은 온도와 혹독한 화학적 환경을 요구하는 응용 분야에 이상적인 선택입니다.

수직 용광로에서 탄화규소 공정 튜브는 RTP와 같은 공정을 거치는 반도체 웨이퍼에 보호 및 제어된 분위기를 제공합니다. RTP에는 도펀트 활성화, 어닐링 및 반도체 장치 제조에 중요한 기타 열 처리에 필수적인 급속 가열 및 냉각 주기가 포함됩니다. 탄화규소 공정 튜브의 견고한 특성은 까다로운 열 및 화학적 환경에서 수명과 신뢰성을 보장하여 반도체 제조 공정의 전반적인 효율성과 정밀도에 기여합니다.