실리콘 카바이드 스캐닝 거울

Semicorex Silicon Carbide Scanning Mirror는 차세대 고성능 광학 장치입니다.  가속화 된 스캐닝 세계를 위해 개발 된 미러는 매우 빠른 속도, 높은 안정성 및 정밀도가 필요한 응용 분야에 최신 빔 조향 및 스캔 기능을 제공합니다. 실리콘 카바이드스캐닝 미러는 고급 세라믹 제조로 인한 고유 한 속성을 가지고 있습니다. 거울은 매우 가볍지 만 기계적 및 열 특성이 우수합니다. 따라서, 이들은 고급 리소그래피, 우주 기반 관찰, 레이저 스캐닝 또는 고속/실시간 이미징과 같은 산업의 고 정확한 광학 시스템에 이상적으로 간주됩니다.

실리콘 카바이드 스캐닝 미러의 기능의 주요 측면은 고성능 스캐닝 요구 사항을 충족시키는 최적의 특이 적 강성을 개발하는 것입니다.  저밀도와 높은 탄성 계수는 ​​높은 수준의 강성을 제공하므로 매우 높은 가속화와 동적 움직임을 통해 이동하면서 구조적 특성을 유지합니다.  강성이 클수록 매우 높은 하중이 발생하면 변형이 낮아져 영상화가 고속에서 정확한 위치를 필요로 할 때 광학 왜곡이 적습니다. 고주파 스캐너에서 미러의 강성은 해상도와 정착 시간을 직접 향상시킵니다.

또 다른 특정 속성은 SIC의 경도입니다.  경도는 표면 손상, 긁힘 또는 마모에 저항하는 재료의 능력으로 정의됩니다.  경도 증가는 연마 입자가있는 가혹한 조건에서도 반복적 인 청소를 의미합니다. 높은 경도는 또한 미러가 확장 된 사용주기에 대한 표면 정확도를 유지하여 광학 성능을 보존하고 유지 보수 요구 사항을 줄일 수 있습니다.

열 관리는 실리콘 카바이드가 빛나는 또 다른 특징입니다. 열전도율이 높기 때문에 SIC는 고전력 레이저 빔 또는 열 환경 변화로 열 축적을 소산 할 수 있습니다. 이를 통해 미러 변형 또는 오정렬을 생성 할 수있는 열 구배를 최소화하여 오랜 작업 중에 일관된 성능을 제공합니다. Vertex의 높은 열 안정성 SIC는 온도 변화에 대한 팽창/수축을 최소화하여 모든 환경 조건에서 치수 안정성이 필수적 일 때 광학 정렬을 유지합니다. 여기에는 우주 망원경 또는 반도체 리소그래피 시스템에 필요한 작업이 포함됩니다.

응용 프로그램 주변의 성능과 가능성을 용이하게하기 위해 많은 표면 코팅 옵션이 있습니다. 예를 들어, CVD SIC 코팅을 사용하면 표면 균일 성, 경도 및 날씨가 향상 될 수 있습니다. 실리콘 코팅은 미러 표면 자체와 같이 추가 광학 코팅을 증착 할 수있는 더 나은 반사 인터페이스를 허용하고 특정 파장 범위, 레이저 전력 수준 및 대기 조건에 따라 최적화 기회를 제공합니다. 예를 들어 미러가 이러한 추가 표면 코팅으로 의도 된 응용의 특정 광학 및 내구성 요구 사항을 달성 할 수 있습니다.

실리콘 카바이드 스캐닝 미러의 또 다른 중요한 이점은 모양과 형상을 포함한 커스터마이징입니다. 거울은 평평하고 구형 및 비구적 표면이되도록 사용자 정의 할 수 있으며 형상이 높은 정확도는 일반적으로 광학 설계에 따라 예상됩니다. 가벼운 후면 구조를 통합함으로써, 강성 손실없이 미러의 질량을 더욱 감소시켜 더 빠르게 스캔하고 시스템 반응 시간이 더 빠를 수 있습니다. 이러한 모든 기능은 애플리케이션의 광학 및 기계적 요구에 따라 각 거울에 대한 개별화 된 형성, 마감 및 코팅 기회를 제공합니다.

실리콘 카바이드 스캐닝 거울은 특히 대량 절약, 강성 및 열 안정성이 궤도의 성능을 보장하는 데 도움이되는 우주 광학 시스템에서 유리합니다. 리소그래피에서, SIC 스캐닝 미러의 치수 안정성 및 높은 강성 특성은 반도체 제조에 중요한 나노 미터 수준의 위치를 ​​제공한다. 고성능 레이저 스캐닝 시스템에서 SIC의 열 분산 품질과 표면의 내구성은 시간이 지남에 따라 장기 안정성을 제공하며 최소한의 왜곡을 제공합니다.

Semicorex Silicon 탄수화물 스캐닝 거울은 경량 구조, 높은 강성, 높은 경도, 높은 열전도율 및 열 안정성의 탁월한 조합을 제공합니다. CVD SIC 및 실리콘 오픈 도어를 포함한 사용자 정의 가능한 모양, 정밀 표면 마감 및 혁신적인 코팅의 고유 한 옵션은 오늘날 가장 까다로운 광학 스캐닝 애플리케이션에 성능 특성과 신뢰성을 추가합니다.