실리콘 카바이드 웨이퍼 보트

Semicorex는 OEM 반도체 제조 도구 및 웨이퍼 처리 구성 요소를 위한 반도체 등급 세라믹을 엔지니어링합니다. 당사의 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 가격면에서 유리하며 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex의 Silicon Carbide Wafer Boat는 초고순도(최대 99.99%), 우수한 내플라즈마성 및 내열성, 파티클 발생 억제 등의 특징을 가지고 있어 구조 부품, 공구 등 반도체 공정 장비 부품에 사용됩니다.
Semicorex는 고품질의 비용 효율적인 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트를 제공하는 데 중점을 두고 있으며 고객 만족을 우선시하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고품질 제품과 뛰어난 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
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실리콘 카바이드 웨이퍼 보트의 매개변수

기술 속성
색인	단위	값
재료명		반응 소결 실리콘 카바이드	압력이 없는 소결 실리콘 카바이드	재결정 실리콘 카바이드
구성		RBSiC	SSiC	R-SiC
부피 밀도	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
굴곡강도	MPa(kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
압축 강도	MPa(kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
경도	누프	2700	2800	/
끈기 깨기	MPa·m1/2	4.5	4	/
열 전도성	W/m.k	95	120	23
열팽창 계수	10^-6.1/°C	5	4	4.7
비열	줄/g 0k	0.8	0.67	/
공기 중 최대 온도	℃	1200	1500	1600
탄성계수	GPA	360	410	240