실리콘 카바이드 웨이퍼 보트

Semicorex 엔지니어는 OEM 세미 제조 도구 및 웨이퍼 처리 구성 요소를 위한 반도체 등급 세라믹을 설계합니다. 당사의 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 가격 경쟁력이 뛰어나며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

세미코렉스의 탄화규소 웨이퍼 보트(Silicon Carbide Wafer Boat)는 초고순도(최대 99.99%), 뛰어난 내플라즈마성, 내열성, 파티클 발생 억제 기능을 갖추고 있어 구조 부품, 공구 등 반도체 공정 장비 부품에 사용됩니다.
Semicorex에서는 고품질의 비용 효율적인 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트 제공에 중점을 두고 고객 만족을 최우선으로 하며 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 우리는 고품질 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
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실리콘 카바이드 웨이퍼 보트의 매개변수

기술적 특성
색인	단위	값
재료 이름		반응 소결 실리콘 카바이드	무압력 소결 실리콘 카바이드	재결정화된 탄화규소
구성		RBSiC	SSiC	R-SiC
벌크 밀도	g/cm3	3	3.15±0.03	2.60-2.70
굴곡강도	MPa(kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
압축강도	MPa(kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
경도	단추	2700	2800	/
파괴적인 끈기	MPa·m1/2	4.5	4	/
열전도율	W/m.k	95	120	23
열팽창 계수	10^-6.1/°C	5	4	4.7
비열	줄/g 0k	0.8	0.67	/
공기 중 최대 온도	℃	1200	1500	1600
탄성률	평점	360	410	240