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실리콘 카바이드 웨이퍼 척
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실리콘 카바이드 웨이퍼 척

Semicorex 실리콘 카바이드 웨이퍼 척은 반도체 에피택셜 공정의 필수 구성 요소입니다. 이는 중요한 제조 단계에서 웨이퍼를 안전하게 고정하는 진공 척 역할을 합니다. 우리는 최고 품질의 제품을 경쟁력 있는 가격으로 제공하여 중국에서 장기적인 파트너가 되기 위해 최선을 다하고 있습니다.*

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제품 설명

Semicorex 실리콘 카바이드 웨이퍼 척은 재료의 우수한 특성을 활용하여 특히 극도의 정밀도와 신뢰성이 요구되는 공정에서 반도체 생산의 엄격한 요구 사항을 충족합니다.


탄화규소는 탁월한 기계적 강도, 열 안정성 및 화학적 불활성으로 알려진 놀라운 소재입니다. 이는 특히 반도체 에피택시의 혹독한 조건에서 무결성과 성능을 유지해야 하는 탄화규소 웨이퍼 척에 사용하기에 매우 적합합니다. 에피택셜 성장 중에 반도체 재료의 얇은 층이 기판에 증착되므로 웨이퍼는 균일하고 고품질의 층을 보장하기 위해 절대적인 안정성을 제공해야 합니다. SiC 웨이퍼 척은 웨이퍼의 움직임이나 변형을 방지하는 견고하고 일관된 진공 유지를 통해 이를 달성합니다.


SiC 웨이퍼 척은 또한 열충격에 대한 뛰어난 저항성을 제공합니다. 반도체 제조에서는 급격한 온도 변화가 흔히 발생하며, 이러한 변동을 견딜 수 없는 재료는 균열, 휘어짐 또는 파손될 수 있습니다. 탄화규소의 낮은 열팽창 계수 덕분에 심한 온도 변화에서도 모양과 기능을 유지할 수 있어 에피택시 공정 중에 웨이퍼가 움직이거나 정렬 불량의 위험 없이 안전하게 유지됩니다. 열적 특성 외에도 탄화규소는 화학적 부식에도 매우 강합니다. 에피택셜 공정에는 시간이 지남에 따라 덜 견고한 재료를 저하시킬 수 있는 반응성 가스 및 기타 공격적인 화학 물질의 사용이 포함되는 경우가 많습니다. SiC 웨이퍼 척의 화학적 불활성 덕분에 이러한 열악한 환경에 영향을 받지 않고 성능을 유지하고 작동 수명을 연장할 수 있습니다. 이러한 화학적 내구성은 척 교체 빈도를 줄일 뿐만 아니라 수많은 생산 주기에 걸쳐 일관된 성능을 보장하여 반도체 제조 공정의 전반적인 효율성과 비용 효율성에 기여합니다.


반도체 제조에 SiC 웨이퍼 척을 채택한 것은 더 높은 성능, 더 큰 신뢰성, 향상된 효율성을 제공할 수 있는 재료와 기술에 대한 업계의 지속적인 추구를 반영합니다. 반도체 장치가 점점 더 복잡해지고 고품질 제품에 대한 수요가 계속 증가함에 따라 탄화규소와 같은 첨단 소재의 역할은 더욱 중요해질 것입니다. SiC 웨이퍼 척은 첨단 재료 과학이 제조 분야의 발전을 어떻게 주도하여 더욱 정밀하고 일관성 있게 차세대 전자 장치를 생산할 수 있는지를 보여줍니다.


Semicorex 실리콘 카바이드 웨이퍼 척은 반도체 에피택셜 공정의 필수 구성 요소로, 열 안정성, 내화학성 및 기계적 강도의 조합을 통해 비교할 수 없는 성능을 제공합니다. SiC 웨이퍼 척은 중요한 제조 단계에서 웨이퍼를 안전하고 정밀하게 처리함으로써 반도체 장치의 품질을 향상시킬 뿐만 아니라 생산 공정의 효율성과 비용 효율성에도 기여합니다.



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