진공 척

Semicorex 진공 척은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 안전하고 안정적이며 효율적인 처리를 제공하도록 설계된 정밀 엔지니어링 솔루션입니다. 이 진공 척은 주로 다양한 처리 단계에서 웨이퍼를 유지하는 데 사용되며, 웨이퍼의 손상, 최대 안정성 및 강화 된 공정 효율을 보장합니다. 우리의 진공 척은 다양한 기본 재료 및 세라믹 플레이트에서 구입할 수 있으며, 반도체 산업 및 기타 정밀 산업의 다양한 요구를 충족시키기위한 맞춤형 솔루션을 제공합니다.

주요 기능 및 재료

Semicorex는 진공 척을위한 다양한 기본 재료 옵션을 제공하므로 특정 응용 프로그램 요구 사항을 기반으로 사용자 정의 할 수 있습니다.

기본 재료 :

• SUS430 : 강도 및 부식 저항으로 알려진 스테인레스 스틸베이스 재료로 인해 기계적 안정성이 우수합니다.
• 알루미늄 합금 6061 : 가벼우면서도 강력하지만이 알루미늄베이스는 높은 내식성을 제공하며 무게가 우려되는 응용 분야에 이상적입니다.
• Alumina Ceramic (99% Alumina) : 높은 열 안정성과 내마모성을 제공합니다. 열 저항이 중요한 고정밀 환경에서는 탁월한 선택입니다.
• 화강암 : 강성 및 우수한 진동 감미소 특성으로 유명한 화강암은 웨이퍼 처리 중에 우수한 안정성과 정밀도를 제공합니다.
• 실리콘 카바이드 (SIC) 세라믹 : 높은 경도, 열전도율 및 화학 부식에 대한 저항성을 제공합니다. 고온 및 공격적인 환경에 적합합니다.

세라믹 플레이트 :

Alumina (Alamo () : 알루미나 플레이트는 높은 전기 절연 특성, 내마모성 및 고온 안정성으로 알려져 있습니다. 최소 오염과 고성능이 중요한 환경에 적합합니다.

실리콘 카바이드 (SIC) : SIC 세라믹 플레이트는 높은 온도에서 탁월한 경도, 높은 열전도율 및 안정성을 제공하여 반도체 생산의 고급 웨이퍼 처리 공정에 이상적입니다.

평탄도 정밀도 및 재료 선택

척 표면의 평탄도는 적절한 웨이퍼 처리 및 최적의 프로세스 결과를 보장하는 데 중요한 요소입니다. 재료 선택은 평탄도 정밀도와 진공 척의 전체 중량 및 열 특성에 영향을 미칩니다.

평탄도 정밀도 :

알루미늄 합금 6061 : 정밀도로 탁월한 평탄도를 제공하므로 덜 까다로운 웨이퍼 처리 작업에 인기있는 선택이됩니다.

SUS430 : 견고한 기계적 안정성을 제공하는 동안 SUS430은 알루미늄 합금보다 평탄도 정밀도가 약간 낮습니다.

Alumina Ceramic (99% Alumina) : 고온에서 높은 차원 안정성과 기계적 응력으로 인해 최고의 평탄도 정밀도를 제공합니다.

화강암 : 안정성으로 유명한 화강암은 특히 진동에 민감한 환경에서 정확한 평탄도를 제공합니다.

실리콘 카바이드 세라믹 : 뛰어난 평탄도 정밀도를 제공하며 고온 응용 분야에서 고정밀 웨이퍼 처리에 이상적입니다.

중량 고려 사항

진공 척의 무게는 특히 척의 취급 및 조작의 용이성이 중요한 고려 사항 인 응용 분야의 또 다른 중요한 요소입니다.