수직 웨이퍼 보트

Semicorex 수직 웨이퍼 보트는 처리 챔버 내 공간 효율성을 극대화하는 다중 웨이퍼용으로 특별히 설계된 캐리어입니다. 이러한 수직형 웨이퍼 보트는 일반적으로 직사각형 또는 원통형 모양이며, 각 보트에는 개별 웨이퍼를 수직 위치에 안전하게 고정할 수 있도록 간격을 두고 정밀하게 가공된 슬롯 또는 포켓이 있습니다. 수직형 웨이퍼 보트는 고온, 부식성 화학물질 및 기계적 응력에 대한 탁월한 저항성을 제공하는 탄화규소(SiC)로 제작되어 잠재적인 손상으로부터 웨이퍼를 보호하는 데 이상적입니다.

반도체 제조 과정에서 웨이퍼는 확산, RTP, 열장 등 수많은 복잡한 공정을 거칩니다. 수직형 웨이퍼 보트는 웨이퍼 캐리어 역할을 하여 다양한 장비와 스테이지 간 원활한 이동을 가능하게 함으로써 이러한 프로세스를 촉진하는 데 중요한 역할을 합니다. 수직 방향은 처리 챔버 내 공간을 최소화하고 처리량을 최적화하며 대량의 웨이퍼 배치를 효율적으로 처리할 수 있도록 해줍니다.

Semicorex 수직형 웨이퍼 보트는 반도체 처리의 초석으로, 다양한 제조 단계에서 웨이퍼를 안전하게 취급하고 운반할 수 있는 견고하고 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공합니다. SiC의 탁월한 특성과 결합된 고급 설계는 최첨단 반도체 장치 생산에서 중추적인 역할을 강조합니다.