반도체 공정용 웨이퍼 보트

Semicorex는 수직/열 및 수평 구성 모두를 위한 웨이퍼 보트, 받침대 및 맞춤형 웨이퍼 캐리어를 제공합니다. 우리는 수년 동안 실리콘 카바이드 코팅 필름의 제조 및 공급 업체였습니다. 당사의 반도체 공정용 웨이퍼 보트는 가격 이점이 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

반도체 공정용 Semicorex SiC 웨이퍼 보트는 반도체 제조에서 웨이퍼 처리 및 보호를 위한 최고의 솔루션입니다. 당사의 반도체 공정용 웨이퍼 보트는 내식성이 우수하고 고온 및 열충격에 대한 내성이 뛰어난 고품질 탄화규소로 제작됩니다. 고급 세라믹은 뛰어난 내열성과 플라즈마 내구성을 제공하는 동시에 고용량 웨이퍼 캐리어의 입자와 오염 물질을 완화합니다.

반도체 공정용 Wafer Boat의 매개변수

기술 속성
색인	단위	값
재료명		반응 소결 실리콘 카바이드	압력이 없는 소결 실리콘 카바이드	재결정 실리콘 카바이드
구성		RBSiC	SSiC	R-SiC
부피 밀도	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
굴곡강도	MPa(kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
압축 강도	MPa(kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
경도	누프	2700	2800	/
끈기 깨기	MPa·m1/2	4.5	4	/
열 전도성	W/m.k	95	120	23
열팽창 계수	10^-6.1/°C	5	4	4.7
비열	줄/g 0k	0.8	0.67	/
공기 중 최대 온도	℃	1200	1500	1600
탄성계수	GPA	360	410	240