반도체 공정용 웨이퍼 보트

Semicorex는 수직/기둥 및 수평 구성 모두를 위한 웨이퍼 보트, 받침대 및 맞춤형 웨이퍼 캐리어를 제공합니다. 우리는 수년 동안 탄화 규소 코팅 필름의 제조업체 및 공급 업체였습니다. 당사의 반도체 공정용 웨이퍼 보트는 가격 경쟁력이 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

반도체 공정용 Semicorex SiC 웨이퍼 보트는 반도체 제조 시 웨이퍼 처리 및 보호를 위한 최고의 솔루션입니다. 당사의 반도체 공정용 웨이퍼 보트는 고품질 탄화규소로 제작되어 내부식성이 우수하고 고온 및 열충격에 대한 저항성이 뛰어납니다. 고급 세라믹은 뛰어난 내열성과 플라즈마 내구성을 제공하는 동시에 고용량 웨이퍼 캐리어의 입자와 오염 물질을 완화합니다.

반도체 공정용 웨이퍼 보트의 매개변수

기술적 특성
색인	단위	값
재료 이름		반응 소결 실리콘 카바이드	무압력 소결 실리콘 카바이드	재결정화된 탄화규소
구성		RBSiC	SSiC	R-SiC
벌크 밀도	g/cm3	3	3.15±0.03	2.60-2.70
굴곡강도	MPa(kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
압축강도	MPa(kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
경도	단추	2700	2800	/
파괴적인 끈기	MPa·m1/2	4.5	4	/
열전도율	W/m.k	95	120	23
열팽창 계수	10^-6.1/°C	5	4	4.7
비열	줄/g 0k	0.8	0.67	/
공기 중 최대 온도	℃	1200	1500	1600
탄성률	GPA	360	410	240