웨이퍼 보트

고순도 실리콘 카바이드 (SIC)에서 제조 된 반음 웨이퍼 보트는 반도체 제조에 필수적인 구성 요소입니다. 그것들이 사용되는 반도체 공정에는 일반적으로 확산, 산화 및 LPCVD 공정과 같은 고온 및 부식성 환경이 포함됩니다. SIC 웨이퍼 보트의 적용은 열 안정성 및 화학 저항을 최대화하기 위해 설계되어 최적의 수율 및 장치 성능을 처리하는 동안 실리콘 웨이퍼의 최적의지지, 정렬 및 수송을 허용합니다.

실리콘 카바이드는 우수한 열 전도성 세라믹으로 잘 기록되어 있으며, 높은 기계적 강도 및 우수한 열 충격 저항, 산화성 및 HF 및 HCL과 같은 화학 물질에 대한 공격적인 화학 물질 저항을 나타냅니다. SIC의 특성은 차세대 반도체 제조 공정 및 고온 환경을위한 웨이퍼 보트의 재료로 특히 매력적입니다. SIC 웨이퍼 보트는> 1500 ° C의 공정 온도에서 구조적 무결성 및 치수 안정성을 유지하여 중요한 열 처리에서 웨이퍼의 뒤틀림 또는 오염 위험을 최소화 할 수 있습니다.

각 sic웨이퍼 보트고급 세라믹 형성 및 소결 공정을 사용하여 고순도 SIC에서 제조되며, 수직 또는 수평에 관계없이 광범위한 웨이퍼 직경 (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm)에 맞게 조정할 수 있습니다. 우리의 SIC 웨이퍼 보트는 매끄러운 표면과 우수한 평탄도를 가지고있어 입자 생성을 최소화하고 자동 웨이퍼 처리 시스템에 이상적입니다.

오염 제어 및 수율은 현대 팹에서 가장 중요한 문제 중 하나입니다. SIC 웨이퍼 캐리어의 청결 및 신뢰성은 제품 품질 및 일관성 프로세스 성능에 영향을 미칩니다.  SIC 웨이퍼 보트는 사용에 대한 수명이 훨씬 우수하고 유지 보수 요구 사항이 적고 석영 또는 알루미나 기반 대안보다 TCO가 낮습니다. 더 나은 장수는 또한 마이크로 입자 흘림에 문제가 적어서 웨이퍼 표면의 청결에 영향을 미치고 깨끗한 방 청결에 영향을 미칩니다.

Semicorex는 낮은 오염 분위기 소결과 결합 된 가장 높은 순도 원료를 사용하는 SIC 웨이퍼 보트 설계 및 제조에 중점을 둡니다.  우리는 낮은 불순물 수준을 유지하고, 낮은 값으로 다공성을 유지하고, 균일 한 미세 구조를 유지하기 위해 노력하여 팀의 작업은 정기적으로 일관된 열 특성, 정밀한 웨이퍼 간격 및 비교적 화학적 분해 저항을 누릴 수 있습니다.

Semicorex sic웨이퍼 보트반도체의 고온 처리의 필수 요소입니다. 고순도 실리콘 카르드 웨이퍼 보트는 비교할 수없는 재료 특성, 엔지니어링 된 우수성 및 마이크로 오염이없는 기질을 가지고있어 고성능 웨이퍼 제조를위한 높은 수준의 선택이됩니다. Semicorex는 가장 미션 크리티컬 반도체 프로세스를 지원할 수있는 신뢰성과 혁신적인 고성능을 제공합니다.