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웨이퍼 진공 척

웨이퍼 진공 척

차세대 리소그래피 및 웨이퍼 처리 응용 분야에 완벽한 Semicorex 초순수 세라믹 부품은 최소한의 오염을 보장하고 예외적으로 긴 수명 성능을 제공합니다. 우리의 웨이퍼 진공 척은 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex 울트라 플랫 세라믹 웨이퍼 진공 척은 웨이퍼 핸들링 공정에서 사용되는 고순도 SiC 코팅입니다. MOCVD 장비에 의한 반도체 Wafer Vacuum Chuck Compound growth는 내열성과 내식성이 높아 극한 환경에서도 안정성이 뛰어나고 반도체 웨이퍼 공정의 수율 관리를 향상시킵니다. 낮은 표면 접촉 구성은 민감한 응용 분야에서 뒷면 입자의 위험을 최소화합니다.

Semicorex는 고품질의 비용 효율적인 웨이퍼 진공 척을 제공하는 데 중점을 두고 있으며 고객 만족을 우선시하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고품질 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.


웨이퍼 진공 척의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


웨이퍼 진공 척의 특징

â 울트라 플랫 기능

â 거울 광택

â 뛰어난 경량

â 높은 강성

â 낮은 열팽창

â ¦ 직경 300mm 이상

â 극도의 내마모성




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