웨이퍼 진공 척

차세대 리소그래피 및 웨이퍼 처리 응용 분야에 완벽한 Semicorex 초순수 세라믹 구성 요소는 오염을 최소화하고 매우 긴 수명 성능을 제공합니다. 당사의 웨이퍼 진공 척은 가격 경쟁력이 뛰어나며 많은 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

Semicorex 초평탄 세라믹 웨이퍼 진공 척은 웨이퍼 핸들링 공정에 사용되는 고순도 SiC 코팅 제품입니다. MOCVD 장비를 이용한 반도체 웨이퍼 진공 척 복합 성장은 내열성, 내식성이 뛰어나 극한 환경에서도 안정성이 뛰어나 반도체 웨이퍼 가공 수율 관리를 향상시킵니다. 낮은 표면 접촉 구성은 민감한 응용 분야에서 뒷면 입자의 위험을 최소화합니다.

Semicorex에서는 고품질, 비용 효율적인 웨이퍼 진공 척 제공에 중점을 두고 고객 만족을 최우선으로 하며 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 우리는 고품질 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

웨이퍼 진공척의 매개변수

CVD-SIC 코팅 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	Jkg-1 K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300