SiC 웨이퍼 보트
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SiC 웨이퍼 보트

Semicorex는 수직/열 및 수평 구성 모두를 위한 웨이퍼 보트, 받침대 및 맞춤형 웨이퍼 캐리어를 제공합니다. 우리는 수년 동안 실리콘 카바이드 코팅 필름의 제조 및 공급 업체였습니다. 우리의 SiC 웨이퍼 보트는 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

다양한 산업에서 웨이퍼 처리를 위한 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공하도록 설계된 고품질 SiC 웨이퍼 보트를 소개합니다. 이 세라믹 받침대는 고순도 세라믹을 사용하여 제조되어 열충격, 마모 및 화학적 부식에 대한 저항성이 뛰어나 열악한 웨이퍼 처리 환경에 이상적입니다.
당사의 SiC 웨이퍼 보트는 또한 고도로 맞춤화할 수 있으며 귀사와 협력하여 귀사의 고유한 사양에 맞는 맞춤형 받침대를 만들 수 있습니다. 우리는 고객의 요구를 충족하는 고품질의 신뢰할 수 있는 제품을 제공할 수 있는 능력에 자부심을 가지고 있습니다. 당사의 세라믹 웨이퍼 보트는 오래 지속되고 긴 서비스 수명을 제공하여 투자 가치를 최대한 활용할 수 있도록 합니다.
지금 주문하고 웨이퍼 처리 작업에서 고품질 SiC 웨이퍼 보트의 이점을 경험하십시오.


SiC 웨이퍼 보트의 매개변수

기술 속성

색인

단위

재료명

반응 소결 실리콘 카바이드

압력이 없는 소결 실리콘 카바이드

재결정 실리콘 카바이드

구성

RBSiC

SSiC

R-SiC

부피 밀도

g/cm3

3

3.15 ± 0.03

2.60-2.70

굴곡강도

MPa(kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C)90-100(1400°C)

압축 강도

MPa(kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

경도

누프

2700

2800

/

끈기 깨기

MPa·m1/2

4.5

4

/

열 전도성

W/m.k

95

120

23

열팽창 계수

10-6.1/°C

5

4

4.7

비열

줄/g 0k

0.8

0.67

/

공기 중 최대 온도

1200

1500

1600

탄성계수

GPA

360

410

240


SiC 웨이퍼 보트의 특징

- CVD 실리콘 카바이드 코팅으로 서비스 수명을 향상시킵니다.
- 고성능 정제 경질 탄소로 만든 단열재.
- 열전도율이 높고 열분산성이 우수합니다.
- 핀홀 저항 및 수명 연장을 위한 고순도 세라믹 및 SiC 코팅



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